От слитка, проконтролирован субстрат к эпитаксии, каждый процесс.
Деятельность измерения (для вафель epi) включает измерение вафли осмотра и измерение вафли продукции. Для вафли осмотра, мы главным образом тесты стабильность оборудования, или отрегулировать структуру вафли, качественный осмотр будем проведены изо дня в день или серия; Измерены поверхностные частица, длина волны, сопротивление, подвижность несущей и Hall, после того как это, уносят визуальный контроль под микроскопом, и после этого мы упаковали их под чистой комнатой 100.