
Add to Cart
Вафли арсенида галлия (ГаАс)
ПВАМ начинает и изготовляет кристалл и вафлю арсенида субстрат-галлия сложного полупроводника. Мы использовали предварительную технологию выращивания кристаллов, вертикальное замораживание градиента (ВГФ) и вафлю ГаАс технологический прочесс, установили производственную линию от выращивания кристаллов, вырезывания, меля к полируя обработке и построили комнату 100 классов чистую для чистки и упаковки вафли. Наша вафля ГаАс включает слиток/вафли 2~6 дюймов для СИД, ЛД и применений микроэлектроники. Мы всегда предназначены для того чтобы улучшить качество в настоящее время подсостояний и начать крупноразмерные субстраты.
Вафли арсенида галлия (ГаАс) для применений СИД
Деталь | Спецификации | Примечания |
Тип кондукции | СК/н-тыпе | СК/п-тыпе с допингом Зн доступным |
Метод роста | ВГФ | |
Допант | Кремний | Зн доступный |
Вафля Дямтер | 2, 3 & 4 дюйма | Слиток или как-отрезок доступные |
Ориентировка кристаллов | (100) 2°/6°/15° с (110) | Другое мисориентатион доступное |
ЭДЖ или США | ||
Концентрация несущей | (0.4~2.5) Э18/км3 | |
Резистивность на РТ | (1.5~9) Э-3 Охм.км | |
Подвижность | 1500~3000км2/В.сек | |
Плотность ямы травления | <5000> | |
Маркировка лазера | по требованию | |
Поверхностный финиш | П/Э или П/П | |
Толщина | 220~450ум | |
Эпитаксия готовая | Да | |
Пакет | Одиночные контейнер или кассета вафли |
Вафли арсенида галлия (ГаАс) для применений ЛД
Деталь | Спецификации | Примечания |
Тип кондукции | СК/н-тыпе | |
Метод роста | ВГФ | |
Допант | Кремний | |
Вафля Дямтер | 2, 3 & 4 дюйма | Слиток или как-отрезок доступные |
Ориентировка кристаллов | (100) 2°/6°/15°офф (110) | Другое мисориентатион доступное |
ЭДЖ или США | ||
Концентрация несущей | (0.4~2.5) Э18/км3 | |
Резистивность на РТ | (1.5~9) Э-3 Охм.км | |
Подвижность | 1500~3000 км2/В.сек | |
Плотность ямы травления | <500> | |
Маркировка лазера | по требованию | |
Поверхностный финиш | П/Э или П/П | |
Толщина | 220~350ум | |
Эпитаксия готовая | Да | |
Пакет | Одиночные контейнер или кассета вафли |
Вафли арсенида галлия (ГаАс), Полу-изолируя для применений микроэлектроники
Деталь | Спецификации | Примечания |
Тип кондукции | Изолировать | |
Метод роста | ВГФ | |
Допант | Ундопед | |
Вафля Дямтер | 2, 3 & 4 дюйма | Слиток доступный |
Ориентировка кристаллов | (100) +/- 0.5° | |
ЭДЖ, США или зазубрина | ||
Концентрация несущей | н/а | |
Резистивность на РТ | >1Э7 Охм.км | |
Подвижность | >5000 км2/В.сек | |
Плотность ямы травления | <8000> | |
Маркировка лазера | по требованию | |
Поверхностный финиш | П/П | |
Толщина | 350~675ум | |
Эпитаксия готовая | Да | |
Пакет | Одиночные контейнер или кассета вафли |
6 вафель арсенида галлия ″ (150мм) (ГаАс), Полу-изолируя для применений микроэлектроники
Деталь | Спецификации | Примечания |
Тип кондукции | Полу-изолировать | |
Вырастите метод | ВГФ | |
Допант | Ундопед | |
Тип | Н | |
Дяматер (мм) | 150±0.25 | |
Ориентация | (100) 0°±3.0° | |
Ориентация ЗАЗУБРИНЫ | (010) ±2° | |
ЗАЗУБРИНА Деептх (мм) | (1-1.25) мм 89°-95° | |
Концентрация несущей | Н/А | |
Резистивность (охм.км) | >1.0×107 или 0.8-9 кс10-3 | |
Подвижность (км2/в.с) | Н/А | |
Вывихивание | Н/А | |
Толщина (µм) | 675±25 | |
Исключение края для смычка и искривления (мм) | Н/А | |
Смычок (µм) | Н/А | |
Искривление (µм) | ≤20.0 | |
ТТВ (µм) | ≤10.0 | |
ТИР (µм) | ≤10.0 | |
ЛФПД (µм) | Н/А | |
Полировать | П/П Эпи-готовое |
2 спецификации вафли ЛТ-ГаАс ″ (50.8мм) (низких, который Температур-выросли арсенид Галюм)
Деталь | Спецификации | Примечания |
Дяматер (мм) | ± 1мм Ф 50.8мм | |
Толщина | 1-2ум или 2-3ум | |
Плотность дефекта Марко | см-2 ≤ 5 | |
Резистивность (300К) | >108 Ом-см | |
Несущая | <0.5пс | |
Плотность дислокации | <1x106cm-2> | |
Годная к употреблению поверхностная область | ≥80% | |
Полировать | Одиночная отполированная сторона | |
Субстрат | Субстрат ГаАс |
Вафли арсенида галлия (ГаАс)
ПВАМ начинает и изготовляет кристалл и вафлю арсенида субстрат-галлия сложного полупроводника. Мы использовали предварительную технологию выращивания кристаллов, вертикальное замораживание градиента (ВГФ) и вафлю ГаАс технологический прочесс, установили производственную линию от выращивания кристаллов, вырезывания, меля к полируя обработке и построили комнату 100 классов чистую для чистки и упаковки вафли. Наша вафля ГаАс включает слиток/вафли 2~6 дюймов для СИД, ЛД и применений микроэлектроники. Мы всегда предназначены для того чтобы улучшить качество в настоящее время подсостояний и начать крупноразмерные субстраты.
Вафли арсенида галлия (ГаАс) для применений СИД
Деталь | Спецификации | Примечания |
Тип кондукции | СК/н-тыпе | СК/п-тыпе с допингом Зн доступным |
Метод роста | ВГФ | |
Допант | Кремний | Зн доступный |
Вафля Дямтер | 2, 3 & 4 дюйма | Слиток или как-отрезок доступные |
Ориентировка кристаллов | (100) 2°/6°/15° с (110) | Другое мисориентатион доступное |
ЭДЖ или США | ||
Концентрация несущей | (0.4~2.5) Э18/км3 | |
Резистивность на РТ | (1.5~9) Э-3 Охм.км | |
Подвижность | 1500~3000км2/В.сек | |
Плотность ямы травления | <5000> | |
Маркировка лазера | по требованию | |
Поверхностный финиш | П/Э или П/П | |
Толщина | 220~450ум | |
Эпитаксия готовая | Да | |
Пакет | Одиночные контейнер или кассета вафли |
Вафли арсенида галлия (ГаАс) для применений ЛД
Деталь | Спецификации | Примечания |
Тип кондукции | СК/н-тыпе | |
Метод роста | ВГФ | |
Допант | Кремний | |
Вафля Дямтер | 2, 3 & 4 дюйма | Слиток или как-отрезок доступные |
Ориентировка кристаллов | (100) 2°/6°/15° с (110) | Другое мисориентатион доступное |
ЭДЖ или США | ||
Концентрация несущей | (0.4~2.5) Э18/км3 | |
Резистивность на РТ | (1.5~9) Э-3 Охм.км | |
Подвижность | 1500~3000 км2/В.сек | |
Плотность ямы травления | <500> | |
Маркировка лазера | по требованию | |
Поверхностный финиш | П/Э или П/П | |
Толщина | 220~350ум | |
Эпитаксия готовая | Да | |
Пакет | Одиночные контейнер или кассета вафли |
Вафли арсенида галлия (ГаАс), Полу-изолируя для применений микроэлектроники
Деталь | Спецификации | Примечания |
Тип кондукции | Изолировать | |
Метод роста | ВГФ | |
Допант | Ундопед | |
Вафля Дямтер | 2, 3 & 4 дюйма | Слиток доступный |
Ориентировка кристаллов | (100) +/- 0.5° | |
ЭДЖ, США или зазубрина | ||
Концентрация несущей | н/а | |
Резистивность на РТ | >1Э7 Охм.км | |
Подвижность | >5000 км2/В.сек | |
Плотность ямы травления | <8000> | |
Маркировка лазера | по требованию | |
Поверхностный финиш | П/П | |
Толщина | 350~675ум | |
Эпитаксия готовая | Да | |
Пакет | Одиночные контейнер или кассета вафли |
6 вафель арсенида галлия ″ (150мм) (ГаАс), Полу-изолируя для применений микроэлектроники
Деталь | Спецификации | Примечания |
Тип кондукции | Полу-изолировать | |
Вырастите метод | ВГФ | |
Допант | Ундопед | |
Тип | Н | |
Дяматер (мм) | 150±0.25 | |
Ориентация | (100) 0°±3.0° | |
Ориентация ЗАЗУБРИНЫ | (010) ±2° | |
ЗАЗУБРИНА Деептх (мм) | (1-1.25) мм 89°-95° | |
Концентрация несущей | Н/А | |
Резистивность (охм.км) | >1.0×107 или 0.8-9 кс10-3 | |
Подвижность (км2/в.с) | Н/А | |
Вывихивание | Н/А | |
Толщина (µм) | 675±25 | |
Исключение края для смычка и искривления (мм) | Н/А | |
Смычок (µм) | Н/А | |
Искривление (µм) | ≤20.0 | |
ТТВ (µм) | ≤10.0 | |
ТИР (µм) | ≤10.0 | |
ЛФПД (µм) | Н/А | |
Полировать | П/П Эпи-готовое |
2 спецификации вафли ЛТ-ГаАс ″ (50.8мм) (низких, который Температур-выросли арсенид Галюм)
Деталь | Спецификации | Примечания |
Дяматер (мм) | ± 1мм Ф 50.8мм | |
Толщина | 1-2ум или 2-3ум | |
Плотность дефекта Марко | см-2 ≤ 5 | |
Резистивность (300К) | >108 Ом-см | |
Несущая | <0.5пс | |
Плотность дислокации | <1x106cm-2> | |
Годная к употреблению поверхностная область | ≥80% | |
Полировать | Одиночная отполированная сторона | |
Субстрат | Субстрат ГаАс |