
Add to Cart
ПАМ-СИАМЭН предлагает вафли кремниевого карбида полупроводника, 6Х СиК и 4Х СиК в различных качественных рангах для изготовителей исследователя и индустрии. Мы начинали технологический прочесс технологии выращивания кристаллов СиК и вафли СиК кристаллической, установленный производственной линии к субстрату СиК изготовителя, который приложен в приборе эпитаксии ГаН, приборах силы, высокотемпературном приборе и электронно-оптических приборах. По мере того как профессиональная компания проинвестированная ведущими изготовителями от полей предварительных и высокотехнологичных материальных институтов исследования и государства и лаборатории полупроводника Китая, мы посвящена непрерывно для того чтобы улучшить качество в настоящее время субстратов и начать крупноразмерные субстраты.
Здесь показывает детальную спецификацию:
СВОЙСТВА КРЕМНИЕВОГО КАРБИДА МАТЕРИАЛЬНЫЕ
Полытыпе | Одиночное Кристл 4Х | Одиночное Кристл 6Х |
Параметры решетки | а=3.076 Å | а=3.073 Å |
к=10.053 Å | к=15.117 Å | |
Штабелировать последовательность | АБКБ | АБКАКБ |
Диапазон-зазор | еВ 3,26 | еВ 3,03 |
Плотность | 3,21 · 103 кг/м3 | 3,21 · 103 кг/м3 |
Тхэрм. Коэффициент расширения | 4-5×10-6/К | 4-5×10-6/К |
Индекс рефракции | отсутствие = 2,719 | отсутствие = 2,707 |
не = 2,777 | не = 2,755 | |
Диэлектрическая константа | 9,6 | 9,66 |
Термальная проводимость | 490 В/мК | 490 В/мК |
Поле нервного расстройства электрическое | 2-4 · 108 В/м | 2-4 · 108 В/м |
Дрейфовая скорость сатурации | 2,0 · 105 м/с | 2,0 · 105 м/с |
Подвижность электрона | 800 см2/В·С | 400 см2/В·С |
дырочная подвижность | 115 см2/В·С | 90 см2/В·С |
Твердость Мохс | ~9 | ~9 |
6Х Н-ТИПЭ СиК, СПЕЦИФИКАЦИЯ ВАФЛИ 2 ″ (50.8мм)
СВОЙСТВО СУБСТРАТА | С6Х-51-Н-ПВАМ-250 С6Х-51-Н-ПВАМ-330 С6Х-51-Н-ПВАМ-430 |
Описание | Субстрат ранга 6Х СиК ранга д исследования ранга К/Д продукции А/Б фиктивный |
Полытыпе | 6Х |
Диаметр | (50,8 ± 0,38) мм |
Толщина | (250 ± 25) μм μм μм (330 ± 25) (430 ± 25) |
Тип несущей | н типа |
Допант | Азот |
Резистивность (RT) | 0,02 | 0,1 Ω·см |
Шероховатость поверхности | < 0=""> |
ФВХМ | А<30 arcsec="" B=""> |
Плотность Микропипе | А+≤1км-2 А≤10км-2 Б≤30км-2 К≤50км-2 Д≤100км-2 |
Поверхностная ориентация | |
На оси | <0001>± 0.5° |
С оси | 3.5° к <11-20>± 0.5° |
Основная плоская ориентация | ± 5° параллели {1-100} |
Основная плоская длина | ± 16,00 1,70 мм |
Вторичная плоская ориентация | Си-сторона: 90° кв. от ± 5° ориентации плоского |
К-сторона: ккв 90°. от ± 5° ориентации плоского | |
Вторичная плоская длина | ± 8,00 1,70 мм |
Поверхностный финиш | Одиночная или двойная отполированная сторона |
Упаковка | Одиночная коробка вафли или мулти коробка вафли |
Годная к употреблению область | ≥ 90% |
Исключение края | 1 мм |
4Х ПОЛУ-ИЗОЛИРУЯ СиК, СПЕЦИФИКАЦИЮ ВАФЛИ 2 ″ (50.8мм)
(Высокочистый Полу-изолируя (ХПСИ) субстрат СиК доступен)
СВОЙСТВО СУБСТРАТА | С4Х-51-СИ-ПВАМ-250 С4Х-51-СИ-ПВАМ-330 С4Х-51-СИ-ПВАМ-430 |
Описание | Субстрат ранга 4Х ранга д исследования ранга К/Д продукции А/Б фиктивный СЭМИ |
Полытыпе | 4Х |
Диаметр | (50,8 ± 0,38) мм |
Толщина | (250 ± 25) μм μм μм (330 ± 25) (430 ± 25) |
Резистивность (RT) | >1Э5 Ω·см |
Шероховатость поверхности | < 0=""> |
ФВХМ | А<30 arcsec="" B=""> |
Плотность Микропипе | А+≤1км-2 А≤10км-2 Б≤30км-2 К≤50км-2 Д≤100км-2 |
Поверхностная ориентация | |
На ± <0001>0.5° оси | |
С оси 3.5° к <11-20>± 0.5° | |
Основная плоская ориентация | ± 5° параллели {1-100} |
Основная плоская длина | ± 16,00 1,70 мм |
Вторичная плоская Си-сторона ориентации: 90° кв. от ± 5° ориентации плоского | |
К-сторона: ккв 90°. от ± 5° ориентации плоского | |
Вторичная плоская длина | ± 8,00 1,70 мм |
Поверхностный финиш | Одиночная или двойная отполированная сторона |
Упаковка | Одиночная коробка вафли или мулти коробка вафли |
Годная к употреблению область | ≥ 90% |
Исключение края | 1 мм |
СИК 4Х Н типа или Полу-изолируя, 5мм*5мм, СПЕЦИФИКАЦИЯ ВАФЛИ 10мм*10мм: Толщина: 330μм/430μм
СИК 4Х Н типа или Полу-изолируя, 15мм*15мм, СПЕЦИФИКАЦИЯ ВАФЛИ 20мм*20мм: Толщина: 330μм/430μм
4Х Н-ТИПЭ СиК, СПЕЦИФИКАЦИЯ ВАФЛИ 2 ″ (50.8мм)
СВОЙСТВО СУБСТРАТА | С4Х-51-Н-ПВАМ-330 С4Х-51-Н-ПВАМ-430 | |
Описание | Субстрат ранга 4Х СиК ранга д исследования ранга К/Д продукции А/Б фиктивный | |
Полытыпе | 4Х | |
Диаметр | (50,8 ± 0,38) мм | |
Толщина | (250 ± 25) μм μм μм (330 ± 25) (430 ± 25) | |
Тип несущей | н типа | |
Допант | Азот | |
Резистивность (RT) | 0,012 до 0,0028 Ω·см | |
Шероховатость поверхности | < 0=""> | |
ФВХМ | А<30 arcsec="" B=""> | |
Плотность Микропипе | А+≤1км-2 А≤10км-2 Б≤30км-2 К≤50км-2 Д≤100км-2 | |
Поверхностная ориентация | ||
На оси | <0001>± 0.5° | |
С оси | 4°ор 8° к <11-20>± 0.5° | |
Основная плоская ориентация | ± 5° параллели {1-100} | |
Основная плоская длина | ± 16,00 1,70) мм | |
Вторичная плоская ориентация | Си-сторона: 90° кв. от ± 5° ориентации плоского | |
К-сторона: ккв 90°. от ± 5° ориентации плоского | ||
Вторичная плоская длина | ± 8,00 1,70 мм | |
Поверхностный финиш | Одиночная или двойная отполированная сторона | |
Упаковка | Одиночная коробка вафли или мулти коробка вафли | |
Годная к употреблению область | ≥ 90% | |
Исключение края | 1 мм |
4Х Н-ТИПЭ СиК, СПЕЦИФИКАЦИЯ ВАФЛИ 3 ″ (76.2мм)
СВОЙСТВО СУБСТРАТА | С4Х-76-Н-ПВАМ-330 С4Х-76-Н-ПВАМ-430 |
Описание | Субстрат ранга 4Х СиК ранга д исследования ранга К/Д продукции А/Б фиктивный |
Полытыпе | 4Х |
Диаметр | (76,2 ± 0,38) мм |
Толщина | (350 ± 25) μм μм (430 ± 25) |
Тип несущей | н типа |
Допант | Азот |
Резистивность (RT) | 0,015 – 0.028Ω·см |
Шероховатость поверхности | < 0=""> |
ФВХМ | А<30 arcsec="" B=""> |
Плотность Микропипе | А+≤1км-2 А≤10км-2 Б≤30км-2 К≤50км-2 Д≤100км-2 |
ТТВ/Бов /Warp | <25μм |
Поверхностная ориентация | |
На оси | <0001>± 0.5° |
С оси | 4°ор 8° к <11-20>± 0.5° |
Основная плоская ориентация | <11-20>±5.0° |
Основная плоская длина | 22,22 мм±3.17мм |
0,875 ″ ″ ±0.125 | |
Вторичная плоская ориентация | Си-сторона: 90° кв. от ± 5° ориентации плоского |
К-сторона: ккв 90°. от ± 5° ориентации плоского | |
Вторичная плоская длина | ± 11,00 1,70 мм |
Поверхностный финиш | Одиночная или двойная отполированная сторона |
Упаковка | Одиночная коробка вафли или мулти коробка вафли |
Царапина | Никакие |
Годная к употреблению область | ≥ 90% |
Исключение края | 2мм |
4Х ПОЛУ-ИЗОЛИРУЯ СиК, СПЕЦИФИКАЦИЮ ВАФЛИ 3 ″ (76.2мм)
(Субстрат СиК особой чистоты Полу-изолируя (ХПСИ) доступен)
СВОЙСТВО СУБСТРАТА | С4Х-76-Н-ПВАМ-330 С4Х-76-Н-ПВАМ-430 |
Описание | Субстрат ранга 4Х СиК ранга д исследования ранга К/Д продукции А/Б фиктивный |
Полытыпе | 4Х |
Диаметр | (76,2 ± 0,38) мм |
Толщина | (350 ± 25) μм μм (430 ± 25) |
Тип несущей | полу-изолировать |
Допант | В |
Резистивность (RT) | >1Э5 Ω·см |
Шероховатость поверхности | < 0=""> |
ФВХМ | А<30 arcsec="" B=""> |
Плотность Микропипе | А+≤1км-2 А≤10км-2 Б≤30км-2 К≤50км-2 Д≤100км-2 |
ТТВ/Бов /Warp | <25μм |
Поверхностная ориентация | |
На оси | <0001>± 0.5° |
С оси | 4°ор 8° к <11-20>± 0.5° |
Основная плоская ориентация | <11-20>±5.0° |
Основная плоская длина | 22,22 мм±3.17мм |
0,875 ″ ″ ±0.125 | |
Вторичная плоская ориентация | Си-сторона: 90° кв. от ± 5° ориентации плоского |
К-сторона: ккв 90°. от ± 5° ориентации плоского | |
Вторичная плоская длина | ± 11,00 1,70 мм |
Поверхностный финиш | Одиночная или двойная отполированная сторона |
Упаковка | Одиночная коробка вафли или мулти коробка вафли |
Царапина | Никакие |
Годная к употреблению область | ≥ 90% |
Исключение края | 2мм |
4Х Н-ТИПЭ СиК, СПЕЦИФИКАЦИЯ ВАФЛИ 4 ″ (100мм)
СВОЙСТВО СУБСТРАТА | С4Х-100-Н-ПВАМ-330 С4Х-100-Н-ПВАМ-430 |
Описание | Субстрат ранга 4Х СиК ранга д исследования ранга К/Д продукции А/Б фиктивный |
Полытыпе | 4Х |
Диаметр | (100,8 ± 0,38) мм |
Толщина | (350 ± 25) μм μм (430 ± 25) |
Тип несущей | н типа |
Допант | Азот |
Резистивность (RT) | 0,015 – 0.028Ω·см |
Шероховатость поверхности | < 0=""> |
ФВХМ | А<30 arcsec="" B=""> |
Плотность Микропипе | А+≤1км-2 А≤10км-2 Б≤30км-2 К≤50км-2 Д≤100км-2 |
ТТВ/Бов /Warp | <45μм |
Поверхностная ориентация | |
На оси | <0001>± 0.5° |
С оси | 4°ор 8° к <11-20>± 0.5° |
Основная плоская ориентация | <11-20>±5.0° |
Основная плоская длина | 32,50 мм±2.00мм |
Вторичная плоская ориентация | Си-сторона: 90° кв. от ± 5° ориентации плоского |
К-сторона: ккв 90°. от ± 5° ориентации плоского | |
Вторичная плоская длина | ± 18,00 2,00 мм |
Поверхностный финиш | Одиночная или двойная отполированная сторона |
Упаковка | Одиночная коробка вафли или мулти коробка вафли |
Царапина | Никакие |
Годная к употреблению область | ≥ 90% |
Исключение края | 2мм |
СИК 4Х Н типа или полу-изолируя, 5мм*5мм, СПЕЦИФИКАЦИЯ ВАФЛИ 10мм*10мм: Толщина: 330μм/430μм
СИК 4Х Н типа или полу-изолируя, 15мм*15мм, СПЕЦИФИКАЦИЯ ВАФЛИ 20мм*20мм: Толщина: 330μм/430μм
вафля СиК -самолета, размер: 40мм*10мм, 30мм*10мм, 20мм*10мм, 10мм*10мм, спецификации ниже:
Тип толщина 6Х/4Х н: 330μм/430μм или таможня
Полу-изолируя толщина 6Х/4Х: 330μм/430μм или таможня
4Х СиК, ПОЛУ-ИЗОЛИРУЯ, СПЕЦИФИКАЦИЯ ВАФЛИ 4 ″ (100мм)
(Высокочистый Полу-изолируя (ХПСИ) субстрат СиК доступен)
СВОЙСТВО СУБСТРАТА | С4Х-100-СИ-ПВАМ-350 С4Х-100-СИ-ПВАМ-500 | |
Описание | Субстрат ранга 4Х СиК ранга д исследования ранга К/Д продукции А/Б фиктивный | |
Полытыпе | 4Х | |
Диаметр | (100 ± 0,5) мм | |
Толщина | (350 ± 25) μм μм (500 ± 25) | |
Тип несущей | Полу-изолировать | |
Допант | В | |
Резистивность (RT) | >1Э5 Ω·см | |
Шероховатость поверхности | < 0=""> | |
ФВХМ | А<30 arcsec="" B=""> | |
Плотность Микропипе | А≤5км-2 Б≤15км-2 К≤50км-2 Д≤100км-2 | |
ТТВ/Бов /Warp | ТТВ<10μм; ТТВ< 25μм; ВАРП<45μм | |
Поверхностная ориентация | ||
На оси | <0001>± 0.5° | |
С оси | Никакие | |
Основная плоская ориентация | <11-20>±5.0° | |
Основная плоская длина | 32,50 мм±2.00мм | |
Вторичная плоская ориентация | Си-сторона: 90° кв. от ± 5° ориентации плоского | |
К-сторона: ккв 90°. от ± 5° ориентации плоского | ||
Вторичная плоская длина | ± 18,00 2,00 мм | |
Поверхностный финиш | Двойная отполированная сторона | |
Упаковка | Одиночная коробка вафли или мулти коробка вафли | |
Царапины | <8 scratches="" to="" 1="" x="" wafer="" diameter="" with="" total="" cumulative="" length=""> | |
Отказы | Никакие | |
Годная к употреблению область | ≥ 90% | |
Исключение края | 2мм |
4Х СиК, Н-ТИПЭ, СПЕЦИФИКАЦИЯ ВАФЛИ 6 ″ (150мм)
СВОЙСТВО СУБСТРАТА | С4Х-150-Н-ПВАМ-350 | |
Описание | Фиктивная ранг 2 | |
Полытыпе | 4Х | |
Диаметр | (150 ± 0,2) мм | |
Толщина | (350 ± 25) μм | |
Тип несущей | н типа | |
Допант | Азот | |
Резистивность (RT) | 0,015 – 0.028Ω·см | |
Шероховатость поверхности | < 0=""> | |
Плотность Микропипе | Н/А | |
ТТВ | ≤30μм | |
Смычок | ≤120μм | |
Искривление | ≤150μм | |
Поверхностная ориентация | ||
С оси | 4° к <11-20>± 0.5° | |
Основная плоская ориентация | <10-10>±5.0° | |
Основная плоская длина | 47,50 мм±2.50мм | |
Поверхностный финиш | Двойная отполированная сторона | |
Исключение края | 3мм | |
Упаковка | Одиночная коробка вафли или мулти коробка вафли |
Пожалуйста см. внизу подводн-каталог: