Источник иона высшего качества частей вольфрама и молибдена
Источник иона высшего качества частей вольфрама и молибдена
Источник частей вольфрама и молибдена нейтральные атомы или молекулы, и извлечь прибор луча иона. Различные виды акселератора иона, массового спектрометра, электромагнитного разделителя изотопа, вживления иона, прибора вытравливания луча иона, двигателя иона и контролируемого прибора сплавливания в нейтральном оборудовании инжектора луча как непременные компоненты.
Мы поставляем вольфрам, молибден, титан и предварительные керамические части компонента и запасных для implanter иона в качестве OEM.
Наши главные продукты включая катод, камеру дуги, repeller, сторону/замыкающую плиту и крепежную деталь в источнике иона axcelis и varian implanter работали в обработке продукции 12" и 16" вафля.
Части вольфрама и молибдена важный процесс во время изготовления полупроводников. Вафли допинга Implanters с «чужими атомами» доработать материальные свойства как проводимость или кристаллическая структура.
Компоненты
| Элемент |
Ti |
Zr |
C |
O |
Al |
Fe |
Mg |
Ni |
Si |
N |
Mo |
| Содержание (вес, %) |
0.4-0.55 |
0.06-0.12 |
0.01-0.04 |
≤0.03 |
≤0.002 |
≤0.01 |
≤0.002 |
≤0.002 |
≤0.002 |
≤0.002 |
Остаток |
![]()
![]()
![]()
Спецификация частей вольфрама и молибдена
| Размер |
(0.1-40) x (50-600) x (100-1500) mm |
| Плотность |
≥10.1 g/cm3 |
| Прочность на растяжение |
MPa ≥830 |
| Прочность выхода |
MPa ≥690 |
| Удлиненность |
≥10% |
| Твердость |
HV240-280 |
