Чистка кремниевой пластины ИТ-индустрии с хорошим обсаливающ представление
Процесс РКА чистый основан на методе чистки начатом на РКА Корпорации для того чтобы извлечь органическую выпарку из кремниевых пластин. Решение чистки составлено 5 частей воды, нашатырного спирта 1 части 27% и перекиси водорода 1 части 30%. Оно извлекает органические загрязняющие елементы и выходит тонкий слой окисленного кремния на поверхность вафли.
Особенность чистки кремниевой пластины
1) одиночные продукты группы с идеальным ППР (коэффициент цены представления)
2) свободен от кальция, магния, металла, меди, руководства и светомассы, и соотвествуйте РОХС.
3)хорошее обсаливая представление для того чтобы соотвествовать зоны ИТ высоко-точности.
Кремниевая пластина очищая технический параметр
|
классификация
проект
|
Чистка кремниевой пластины ДЖХ-1020 |
Стандарт теста |
| Возникновение |
Бесцветный к желтоватой жидкости |
визуализирование |
| Специфический вес |
1.01-1.25 |
дензиметр |
| пэ-аш |
12.0-14.0 |
Аппаратура ПЭ-АШ |
| свободная щелочность (пионт) |
≧13.5мг |
КИФК |
Инструкции чистки кремниевой пластины
1) положите чистую воду в танк чистки до трехчетвертного, тогда, добавьте агент в концентрации -5% 3%, добавьте воду до уровня деятельности, последнего, нагрейте решение ванны до работая температуры.
2) нужно изменить решение ванны совершенно после обсаливая определенного количества куска кремния.
3) уменьшает, который подвергли действию время в воздухе избежать оксидации.
4) работая степень температуры 50-65, время избавления: 2-5минутес.
