
Add to Cart
Основной индекс параметра:
1.: окончательная камера покрытия вакуума ≤6.6X10-5Pa; нагнетая время: 30 минут лучшие чем 8X10-4Pa
2. цель: 4 фута цели вращения (с экраном), революции, вращения и сканирования, расстояния субстрата цели регулируемого (30-90mm)
3. вращение субстрата: революция, вращение 2 образцов экрана тоги
4. температура топления субстрата: польза armored нагревая плиты, непрерывное регулируемого 0-800℃; используя аппаратуру контроля температуры для автоматических измерения температуры и контроля PID, точность ±1℃ контроля температуры
5. счетчик- расходомер MFC 2 путей массовый (ряд: 0-100sccm) контролирует подачу газа
6. система управления: управление экрана касания +PLC