
Add to Cart
Основной индекс параметра:
1. оборудование: камера низложения, молекулярная насосная система, верхние и более низкие электроды, система пути газа, электропитание и контроль температуры и система управления оборудования
2. камера низложения: Φ350XH350mm
3. верхний электрод: вход multi слоя равномерный, размер Φ150mm
4. электрод: роторное топление, комнатная температура -600℃ регулируемая, температура ≤±3℃, sizeΦ 100mm
5.RF сила 500W, оборудованная с автоматическим соответствуя прибором
6. массовый забор воздуха работы управлением измерителя прокачки
7. система управления принимает управление экрана касания +PLC