Основной индекс параметра:
1. окончательный вакуум: PA ³ ≤6.6X10
2. система обнаружения вакуума принимает молекулярный насос + механический блок насоса
3. непрерывный нагнетать на 30 минут, PA ³ вакуума degree≤86X10
4. испарение: тип электрод сопротивления испарения 2 группы, электропитание испарения: 2 набора, сила 2KW
Поддержка 5. субстратов: вращение, топление, базовая платина воды
6. измерение толщины фильма, оборудованное с аппаратурой толщины фильма кристалла кварца, вода охладило зонд