Основной индекс параметра:
1. окончательный вакуум: PA ³ ≤6.6X10
2. система обнаружения вакуума принимает молекулярный насос + механический блок насоса
3. непрерывный нагнетать на 30 минут, PA ³ степени ≤86X10 вакуума
4.E тип электронное оружие, максимальное напряжение тока 8-10KV, сила 8KW
5. части низкопробного диаметра 400mm, можно нагреть к под 300℃, с водяным охлаждением, скорость регулируемая, регулируемое расстояние субстрата субстрата цели
6. измерение толщины фильма, оборудованное с аппаратурой толщины фильма кристалла кварца, вода охладило зонд