| Компонент |
Состав и спецификации |
| Камера вакуума |
Номер |
Одиночная камера |
| Материал |
нержавеющая сталь 304 |
| Форма |
Цилиндрическая вертикальная структура |
| Размер |
Φ300XH250 |
| Верхнее уплотнение |
Уплотнение фтора резиновое |
| Сопло |
Содержит интерфейс датчика вакуума 2, нескольк брызгать магнетрона
интерфейс цели,
интерфейс клапана глубокого вакуума, интерфейс трубы дренажа,
интерфейс обзорного иллюминатора,
интерфейс 3 клапанов, интерфейс 3 и работая механизм
электрический интерфейс 2
введение.
|
| Раскрывая режим |
Подъемное устройство обложки без верхний подниматься |
| Освещать/суша |
лампа освещения 1x1000W, засыхание лампы галоида 1x1000w, суша
температура в пределах 200℃
|
| Насосные системы вакуума |
главный насос |
Молекулярный насос 1pc |
| forepump |
насос роторной лопасти 6L механический |
| насос предварительной откачки |
| клапан |
Клапан глубокого вакуума принимает ультравысокий вакуум 1pc, клапан стравливания давления
принимает стоп ультравысокого вакуума
клапан 3
|
| Труба/совместное |
Трубка нержавеющей стали точности, составленная мембран, быстро
разгрузите улицу и двойную карту
соединение рукава
|
| Система вакуума измеряя |
Составной датчик вакуума, датчик принимает полностью датчик металла обнаженный |
| Магнетрон брызгая система |
Магнетрон брызгая источник |
Один или два магнетрон R60 брызгая цели |
| Положение установки цели |
Плита камеры вакуума |
| Электропитание |
DC0.5KW, RF0.5KW каждое 1pc |
| размер цели |
Круглая медная цель Φ60x2pcs |
| Деятельность дефлектора |
Сразу вал 1pc |
| Система субстрата |
Размер/количество субстрата |
Φ≤60mm, 1pc |
| Вращение субстрата |
autoroatation, скорость 0-120/minute |
| Вращающий момент основания цели |
10cm, регулируемо (±5cm) |
| Топление субстрата |
Смогите быть нагрето под 700℃, с водяным охлаждением |
| контроль температуры |
Управление PID, точность контроля ±1℃ |
| Система охлаждения воды |
охлаждать цели |
С охлаждая трубой водопровода и никакой охлажденной водой или недостаточный
давление охлажденной воды,
вода
реле давления отключено и электропитание цели отрезано
предотвратить
цель
от перегревать
|
| Вакуум - система охлаждения |
Молекулярный охлаждать насоса |
| Охлаждать субстрата |
Охлаждать охлажденной воды |
| Средство доставки газа |
Транспортировать режим |
газопровод и загрузочный клапан пропущены через вакуум
стенка камеры
|
| Управление газа |
Регулятор потока MFC массовый |
| Рамка |
структура |
Алюминиевая рамка |
