
Add to Cart
Оборудование обработки газа кабеля адсорбцией WFS-100A
Типы газов которые могут быть обработаны scrubbing прибором обработки газа кабеля включают электронные газы используемые в вытравляя процессе и процессе низложения химического пара в полупроводнике, жидком кристалле и солнечных индустриях, главным образом включая SiH4, SiH2Cl2, PH3, B2H6, TEOS, H2, Co, NF3, SF6, C2F6, wf6, NH3, N2O, etc.
Параметры продукта | ||
1 | Модель машины | WFS-100A |
2 | Scrubbing тип (тип принципа обработки газа) | Химическая адсорбция |
3 | Емкость (максимальная подача обработки газа) | 120SLM |
4 | Размер машины размера (mm) | 1040 (L) *700 (W) *1850 (H) |
5 | сила | 1Ψ, 220V 50/60HZ 15A |
6 | GN2 (азот) | 3/8" штуцер Swagelok, 5~6kg/cm2 (80psi), 30~50L/m |
7 | Вход системы | ISO-100 (4" трубка) |
8 | Выход системы | ISO-100 (4" трубка) |
9 | Сброс (размер порта вытыхания полости машины) | 4" трубка, 100CFM |
Тип газа, который нужно обработать | ||
продукт | Тип газа | |
Кисловочный газ | AC-серии | BF3, HF, F2, WF+, SiF4.ect |
Гидрид или металл содержа газ | Hm-серии | PH3, AsH3, GeF4, B2H6, ect |
Галоидированный газ | Ба-серии | NH3, Na (OH), ect |
Газ нитрида | NT-серии | NH3, TDMAT, HCW, N2O, НЕТ, NO2, Nox, ect |
Органический газ | OC-серии | SiH4, DCS, TCS, TEOS, DEZ, PGMEA, ect |
Газ сульфида | SL-серии | H2S, H2Se, SO2, ect |
Случай проекта
Упаковка необходима для процесса производства обломоков полупроводника электронных, и технология упаковки очень критическая для интегральных схема. В дополнение к предварительному производственному оборудованию, оборудование производственных линий, стабилизированных и безопасных поставки газа также необходимо. Оборудование упаковки в индустрии полупроводника будет использовать газ после соответствовать. Только путем обеспечение точности концентрации газа и точности соответствуя консервной банки стабильность упаковывая качества быть гарантированным, и непрерывная соответствуя поставка газа также необходимое условие для упаковки.
![]() |
![]() |
![]() |
![]() |
вопросы и ответы
1. кто мы?
Мы основаны в Гуандуне, Китае, начале от 2011, надувательстве к Юго-Восточной Азии (20,00%), Африка (20,00%), Восточная Азия (10,00%), средний восток (10,00%), внутренний рынок (5,00%), Южная Азия (5,00%), Северн Северный (5,00%), Центральная Америка (5,00%), Западная Европа (5,00%), Южная Америка (5,00%), Восточная Европа (5,00%), Северная Америка (5,00%). Полное около 51-100 человек в нашем офисе.
2. как можем мы гарантировать качество?
Всегда образец подготовки производства перед массовым производством;
Всегда финальная инспекция перед пересылкой;
3.what может вы купить от нас?
регулятор давления, штуцеры трубки, клапан соленоида, игольчатый клапан, задерживающий клапан
4. почему должны вы купить от нас не от других поставщиков?
Мы имеем несколько леты с профессиональными инженерами и преданным technicians.can обеспечить продукты безопасностью для вас
5. какие обслуживания можем мы обеспечить?
Принятые условия доставки: ОБМАНЫВАЙТЕ, CIF, EXW;
Принятая валюта оплаты: USD, CNY;
Принятый тип оплаты: T/T, L/C, западное соединение;
Поговоренный язык: Английский язык, китайцы