Zhuzhou Ruideer Metallurgy Equipment Manufacturing Co.,Ltd
Швейцарская точность, немецкое качество, китайское умное производство
Add to Cart
Китай Производство покрытия карбидом кремния в СВД-печах
Это оборудование используется для покрытия карбидом кремния материалов на основе углерода/керамики,особенно осаждение карбида кремния на поверхности полупроводникового эпитаксиального восприимчивого элемента и резьбового кольца.
Печи СВД, используемые для процесса химического отложения паров (CVD).Химическое отложение паров - это процесс, при котором тонкая пленка откладывается на субстрат с помощью химической реакции между испаренными прекурсорами газов и нагретой поверхностью..
Эпитаксиальная основа, высокочистый графитовый диск, с круглой канавкой, чтобы закрепить подложку.После помещения их в печь на поверхности субстрата вырастет слой кристаллической пленки, который является эпитаксиальным слоем.Процессы лифографии и имплантации ионов проводятся на эпитаксиальном слое..
Эпитаксиальная основа из графита, очевидно, не может отвечать сверхвысоким требованиям чистоты в полупроводниковом процессе.По этой причине нам нужно использовать химическое отложение паров на базе, чтобы обернуть слой плотного карбида кремния.
• Стандарты проектирования
Оборудование спроектировано в соответствии с требованиями Бюро по качеству и техническому надзору к сосудам под давлением и квалифицировано после испытаний на давление и отгрузки.Электрическая конструкция и строительство соответствуют национальным стандартам.
• Предварительные испытания и предварительная приемка
Оборудование полностью собрано на нашем заводе, включая все трубопроводы, вакуумные трубопроводы, газопроводы, трубопроводы охлаждающей воды, трубопроводы сжатого воздуха и т.д.Предварительные испытания могут проводиться после установки. На месте работы заказчика трубопроводы, кроме оборудования, предоставляются заказчиком.Главный кабель, соединяющий шкаф питания, предоставляется заказчиком.После установки мы проводим испытания вакуума и положительного давления на все оборудование, а также механические и электрические испытания.
• Разборка и транспортировка
Оборудование будет демонтироваться на несколько больших частей, упаковано стандартным образом и загружено в транспортное средство.
• Установка и ввод в эксплуатацию на объекте клиента
Инженер Redel послепродажного обслуживания возглавит команду для завершения ввода в эксплуатацию, испытания продукта сжигания и другие работы в течение 20 рабочих дней.Заказчик должен подготовиться и предоставить необходимые инструменты, такие как подъемное и подъемное оборудование. и обеспечить поддержку персонала установки (рекомендуется иметь 1 механический персонал и 1 электрический персонал).
• Окончательное принятие
После установки и ввода в эксплуатацию оборудование может быть окончательно принято в соответствии с требованиями технического контракта.
• Обучение
Наши инженеры послепродажного обслуживания обеспечат систематическое и полное обучение на месте, включая эксплуатацию, техническое обслуживание, устранение неполадок и т.д.
• Предоставление технических данных
Для обеспечения безопасной эксплуатации и технического обслуживания оборудования клиентам предоставляются следующие технические данные:
1. Размещение оборудования
2. Руководство пользователя
3Список запасных частей
4Электрические чертежи
5. Руководство по компонентам
Частые вопросы
Вопрос: Вы завод или торговая компания?
A: Мы являемся ведущим производителем высокотемпературных вакуумных печей в Китае с более чем 10-летним опытом.
В: У вас есть услуги по настройке или OEM?
A:Да, у нас есть мощная команда исследований и разработок и высокотехнологичное оборудование. Поэтому мы можем не только поставлять обычную модель, но и настраиваемую печь в качестве замены наших клиентов.
Вопрос: Каково ваше преимущество?
А:
Быстрый ответ на ваш запрос
l Высокий контроль качества
L Стабильная цепочка поставок
I Своевременная доставка
Отличное послепродажное обслуживание