Покрытия TiC/TiN/TiCN/a-Al2O3/k-Al2O3 Химическая паровая осадочная печь СВД
1. Основные технические параметры
1Напряжение питания: 380 В 50 Гц;
2Максимальная температура: 1100°C;
3Рабочая температура: 900-1050°C;
4Общая мощность: около 75 кВт;
5. мощность отопления: около 55 кВт;
6Количество реакционных камер: 2
7Эффективный размер реакционной камеры: φ500 (внутренний диаметр) мм×1500 (эффективный диаметр)
высота) мм;
8Размер занятости (l × w × h): 8100 × 7000 × 5100 мм;
9Масса оборудования: около 10 т.
2.Группа Ассамблеи
Печь для нанесения покрытий СВД состоит из шести частей: рабочей столы, реакционной камеры, нагревательного крышка, охлаждающего крышка, железнодорожного крана, конденсатора.
3.ОборудованиеСилас
3.1Небольшое пространство и разумная планировка.
3.2Высокая степень автоматизации.
3.3Поддерживающее вспомогательное оборудование, такое как устройство нейтрализации отработавшего газа, устройство наполнения титановым тетрахлоридом, газовый насос и т. д., может быть предоставлено.
3.4Система контроля процессов способствует независимым исследованиям и разработкам новых процессов.
4.СВД графитная лодка
Различные типы графитовых лодок могут быть поставлены.
5. Камера реакции СВД
Камеры реакции CVD центрифугически отлиты высокотемпературным сплавом, который может значительно уменьшить деформацию и увеличить срок службы до 200 печей.
