
Add to Cart
1. Группа собрания
Печь покрытия CVD состоит из 6 частей: верстак, камера реакции, крышка топления, охлаждая крышка, кран рельса, конденсатор.
Главные системы охлаждая система водообеспечения, насосная система, система tube&pipeline газа, аэродинамическая система и электрическая система управления.
2. Рабочая Среда фабрики
2,1 окружающие влажность и температура
2.1.1 окружающая влажность: <90% (на +35°C)
2.1.2 температура окружающей среды: 5℃~40℃
2,2 электропитание
2.2.1 электропитание: 380V±10%, 50Hz, трехфазная система 5-провода
2.2.2 поставка контрольных полномочий: 210V~250V, 50Hz, одиночная фаза
2,3 источник воздуха
2.3.1 обжатое воздушное давление: 6-7bar,
2.3.2 давление Ar: 2-3bar,
2.3.3 давление и подача h2: 2-3bar, 0-75slm
2.3.4 давление и подача n2: 2-3bar, 0-50slm
2.3.5 давление и подача CO: 2-3bar, 0-2.5slm
2.3.6 давление и подача СО2: 2-3bar, 0-5slm
2.3.7 давление и подача CH4: 2-3bar, 0-5slm
2.3.8 давление и подача HCl: 2-3bar, 0-5slm
2.3.9давлениеиподача h2s: 2-3bar,0-0.4slm
2,4 водный источник
2.4.1 входное давление охлажденной воды: 2-3bar, чистая вода порекомендовано. Температура 13-16°C. (клиентам нужно быть оборудованным с охлаженной водой), подаче охлажденной воды, 5m3/h.
2.4.2 водный источник аварийной ситуации резервный (быть подготовленным потребителем)
Давление: 1.5bar-2bar.