Кремниевый карбид используется в основном в производстве диодов Шоттки, полупроводниковых транзисторов с эффектом поля оксида металла, транзисторов с эффектом поля соединения, транзисторов с биполярным соединением,тиристорыСиликоновая карбидная пластина имеет высокую/низкую резистивность, что гарантирует необходимую производительность.независимо от требований вашего заявленияНезависимо от того, работаете ли вы с высокопроизводительной электроникой или с низкопроизводительными датчиками, наш вафля подходит для этой задачи.Так что если вы ищете высококачественную пластину из карбида кремния, которая обеспечивает исключительные характеристики и надежностьМы гарантируем, что вы не будете разочарованы в качестве или производительности.

Уровень		Никакой MPDGrade	Уровень производства	Скриншоты
Диаметр		1000,0 мм +/- 0,5 мм
Толщина	4H-N	350 мм +/- 20 мм	350 мм +/- 25 мм
	4H-SI	500 мм +/- 20 мм	500 мм +/- 25 мм
Ориентация пластинки		На оси: <0001> +/- 0,5 градусов для 4H-SI
		Вне оси: 4,0 градуса в сторону <11-20> +/-0,5 градуса для 4H-N
Электрическое сопротивление	4H-N	0.015 ~ 0.025		0.015 ~ 0.028
(Омм-см)	4H-SI	>1E9		>1E5
Первичная плоская ориентация		{10-10} +/- 5,0 градусов
Первичная плоская длина		320,5 мм +/- 2,0 мм
Вторичная плоская длина		180,0 мм +/- 2,0 мм
Вторичная плоская ориентация		Кремний вверх: 90 градусов CW от первичной плоскости +/- 5,0 градусов
Исключение краев		3 мм
LTV/TTV/Bow/Warp		3um /5um /15um /30um		10um /15um /25um /40um
Грубость поверхности		Поляк Ra < 1 нм на поверхности C
		CMP Ra < 0,2 нм		Ra < 0,5 нм
Трещины, проверенные высокоинтенсивным светом		Никаких	Никаких	1 допускается, 2 мм
Шестерковые пластинки, проверяемые высокоинтенсивным светом		Кумулятивная площадь ≤ 0,05%		Кумулятивная площадь ≤0,1 %
Политипные зоны, осматриваемые высокоинтенсивным светом		Никаких	Никаких	Совокупная площадь ≤ 3%
Поцарапания, проверенные высокоинтенсивным светом		Никаких	Никаких	Кумулятивная длина ≤1x диаметр пластины
Окрашивание краев		Никаких	Никаких	5 допускается, ≤ 1 мм каждый
Загрязнение поверхности, проверенное при использовании высокоинтенсивного света		Никаких

4H N Тип Semi Type SiC Wafer 4 дюймовый DSP Производство Исследования

Персонаж:

1Сильная высокотемпературная стабильность: пластины из карбида кремния обладают чрезвычайно высокой теплопроводностью и химической инертностью.позволяет им сохранять стабильность в условиях высокой температуры без легкого термального расширения и деформации.
2Высокая механическая прочность: пластины из карбида кремния обладают высокой жесткостью и твердостью, что позволяет им выдерживать высокие напряжения и тяжелые нагрузки.
3Отличные электрические свойства: пластинки из карбида кремния обладают превосходными электрическими свойствами по сравнению с кремниевыми материалами, с высокой электрической проводимостью и мобильностью электронов.
4Выдающаяся оптическая производительность: пластины из карбида кремния обладают хорошей прозрачностью и сильной радиационной стойкостью.

Растение монокристаллов карбида кремния:

Проблемы в развитии однокристаллического SiC:SiC существует в более чем 220 кристаллических структурах, наиболее распространенными из которых являются 3C (кубический), 2H, 4H и 6H (шестнадцатиугольный) и 15R (ромбоэдрический).,Это делает его непригодным для роста с помощью таких методов, как процесс Цокральски. Он сублимируется выше 1800 ° C, разлагаясь на газообразный Си, Си2С, СиС и твердый С (основной компонент).Механизм роста, включающий двуслойные спирали кремния и углерода, приводит к образованию кристаллических дефектов во время процесса роста.

1: Способ физического транспортировки паров (PVT):

При PVT-росте SiC порошок SiC помещается в нижнюю часть печи и нагревается.Из-за более высокой температуры внизу и более низкой температуры в верхней части тигеля, пар конденсируется и растет в направлении кристалла семян, в конечном итоге образуя кристаллы SiC.

Преимущества: ПВТ-оборудование в настоящее время является основным методом выращивания кристаллов SiC из-за его простой структуры и эксплуатации.Это относительно трудно достичь расширения диаметра в кристаллическом росте SiCНапример, если у вас 4-дюймовый кристалл и вы хотите расширить его до 6 или 8 дюймов, это потребует значительно длительного периода.Преимущества допинга кристаллов SiC не очень выражены с использованием этого метода.

2: Метод высокотемпературного раствора:

Этот метод использует растворитель для растворения углеродного элемента. Способность растворителя растворять растворенное варьируется при разных температурах.используемый растворитель - металлический материал хром (Cr)Хотя металлы твердые при комнатной температуре, они плавятся в жидкость при высоких температурах, фактически становясь раствором.где Cr выступает в роли шаттла, транспортируя углеродный элемент из нижней части печи в верхнюю часть, где он охлаждается и кристаллизуется, образуя кристаллы.

Преимущество:Преимущества выращивания SiC методом высокотемпературного раствора включают низкую плотность дислокации, которая является ключевой проблемой, ограничивающей производительность SiC-устройств;легкость достижения расширения диаметра; и получение кристаллов p-типа.Неблагополучные:Однако этот метод также имеет некоторые недостатки, такие как сублимация растворителя при высоких температурах, контроль концентрации примесей во время роста кристаллов, инкапсуляция растворителя,и плавающие кристаллические образования.

3: Метод высокотемпературного химического отложения паров (HTCVD):

Этот метод существенно отличается от двух предыдущих методов тем, что сырье для SiC меняется.HTCVD использует органические газы, содержащие элементы C и Si, в качестве сырья SiCВ HTCVD газы вводятся в печь через трубопровод, где они реагируют и образуют кристаллы SiC. В настоящее время HTCVD для роста кристаллов SiC все еще находится на стадии исследований и разработок.Из-за сложности и высокой стоимости этого процессаВ настоящее время это не основная технология для выращивания кристаллов SiC.

Применение:

1Инверторы, преобразователи постоянного тока и бортовые зарядные устройства для электромобилей: для этих применений требуется большое количество силовых модулей.устройства из карбида кремния приводят к значительному увеличению дальности движения и сокращению времени зарядки электромобилей.
2Силиконовые карбидные силовые устройства для применения возобновляемой энергии: Силиконовые карбидные силовые устройства, используемые в инверторах для применения солнечной и ветровой энергии, повышают использование энергии.предоставление более эффективных решений для достижения пика выбросов углерода и нейтральности выбросов углерода.
3. Приложения высокого напряжения, такие как высокоскоростные железные дороги, системы метро и электросети: Системы в этих областях требуют высокой терпимости к напряжению, безопасности и эффективности работы.Силовые устройства на основе карбида кремния эпитаксии являются оптимальным выбором для вышеупомянутых приложений.
4Высокопроизводительные радиочастотные устройства для связи 5G: Эти устройства для сектора связи 5G требуют субстратов с высокой теплопроводностью и изоляционными свойствами.Это облегчает реализацию превосходных эпитаксиальных структур GaN.

Часто задаваемые вопросы

В: В чем разница между 4H-SiC и SiC?
Ответ: 4H-Карбид кремния (4H-SiC) выделяется как превосходный политип SiC благодаря широкому диапазону, отличной тепловой устойчивости и замечательным электрическим и механическим характеристикам.

Вопрос: Когда следует использовать SiC?
О: Если вы хотите процитировать кого-то или что-то в своей работе, и вы заметите, что исходный материал содержит орфографическую или грамматическую ошибку,Вы используете sic для обозначения ошибки, помещая его сразу после ошибки.

Вопрос: Почему 4H SiC?
A: 4H-SiC предпочтительнее 6H-SiC для большинства приложений электроники, потому что он имеет более высокую и более изотропную мобильность электронов, чем 6H-SiC.