SHANGHAI ROYAL TECHNOLOGY INC.
ЖИВИТЕ ЛОКАЛЬНО, ДУМАЙТЕ ГЛОБАЛЬНО
Add to Cart
ДиниоТетроксид бия; ниобийдиоксид ниобия; диоксид ниобия (NbO2);оксид ниобия (Nb)2O4) покрытия магниторонным распыливанием
Применение:
1- микроэлектронная промышленность, поскольку пленки могут быть реактивно распылены и, таким образом, резистивность и температурный коэффициент сопротивления могут контролироваться;
2Медицинские инструменты, такие как имплантаты для тела, благодаря их высокой биосовместимости;
3. покрытия на коррозионностойких деталях, таких как термоволы, корпуса клапанов и крепежные элементы;
4Оптические покрытия
Технические преимущества
1. Плагин Интегрированная система проектирования для быстрой установки
2. Siemens PLC,CPU; с оборудованием для управления промышленным ПК и управления
3Доступен для дистанционного мониторинга и диагностики.
4Гибкий, готовый к модернизации
5. Многочисленные катоды для быстрой скорости отложения
Больше преимуществ от машины:
Устойчивый дизайн, стабильное качество, быстрый цикл, быстрое время цикла, высокая скорость осаждения
| Основные конфигурации | |
| Модель | RTAS1000 |
| Технологии | Противомоторная магниторонная распылка + катодная дуговая облицовка |
| Материалы для камер | Нержавеющая сталь (S304) |
| Размер камеры | Φ1000*1000 мм (H) |
| Тип камеры | Форма D, цилиндрическая камера |
| Система ротационного стойки и подъемника | Спутниковое управление или центральная система управления |
| ПРЕДСТАВЛЕНИЯ | Диспьютерный источник питания: 2 ~ 4 комплекта Биазный источник питания: 1 комплект Арка |
| Материал для депонирования | Nb, In, Ti/Cr/TiAl, Ta, Au, Ag, Cu и т.д. |
| Источник сдачи |
Планарные споттерные катоды + циркулярные дуговые катоды Примечание: цилиндрический распылитель постоянного тока доступен. |
| Контроль | ПЛК ((Программируемый логический контроллер) + сенсорный экран (модели ручной + автоматической + полуавтоматической работы) |
| Система насоса | Ротационный насос: SV300B - 1 комплект (Leybold) |
| Корневой насос: WAU1001 - 1 комплект (Leybold) | |
| Удерживающий насос: D60C - 1 комплект (Leybold) | |
| Магнитный молекулярный насос подвески: MAG2200 - 2 sest (Leybold) | |
| Контроллер потока массы газа | 4 канала, Сделано в Китае, Семь звезд (серия CS, ) цифровая модель (Ar, N2, O2, C2H2) |
| Вакуумный измеритель | Модель: ZDF-X-LE, изготовленная в Китае |
| Система безопасности | Многочисленные блокировки безопасности для защиты операторов и экипировки |
| Отопление | Нагреватели: 20 кВт. Максимальная температура: 450°С |
| СОХЛЕДЕНИЕ | Промышленный холодильник (холодная вода) |
| ПОУэр Макс. | 100 КВт (приблизительно) |
| Среднее потребление электроэнергии | 45 КВт (приблизительно) |
| Вес брутто | T (приблизительно) |
| Отпечаток стопы | (L*W*H) 4000*4000*3600 мм |
| Электроэнергия | Линия переменного тока 380В/3 фаз/50Гц / 5 |
Цилиндрические катеды распыливания Планарные кастоды распыливания
Пожалуйста, свяжитесь с нами для получения дополнительных сведений, Royal Technology с честью предоставит вам полные решения по покрытию.
Скачать брошюру, пожалуйста, нажмите здесь:Система осаждения магнитронным спуттером.pdf
Применение системы отложения магнитных распылителей...