SHANGHAI ROYAL TECHNOLOGY INC.
ЖИВИТЕ ЛОКАЛЬНО, ДУМАЙТЕ ГЛОБАЛЬНО
Add to Cart
Магнетрон замкнутого поля неуравновешенный брызгая система низложения, неуравновешенный магнетрон брызгая плакировка иона
Процессы нарушенные равновесие и замкнутое поле магнетрона имеют все преимущества плоскостных магнетронов. Дополнительные преимущества и недостатки являются следующими:
Магнетрон нарушенный равновесие и замкнутое поле брызгая революционизированные свойства достижимые магнетроном брызгая процессы. По мере того как успешный с улучшенным тонким фильмом tribological, коррозионной устойчивостью и оптически свойствами как эта технология были, улучшения в технологии магнетрона как раз начали. Следующий блог мы двигаем на применения вращать и цилиндрический фильма процессов и приводить магнетрона тонкий.
--- Над статьей от P E T e r M R T I N
Королевская технология начала высокий выход и высокое использование цели брызгая катоды, особенно для редкий и дорогой брызгать металлов: Золото Au, животики тантал, низложение фильмов металла Ag серебряное. Система низложения высокого фильма единообразия служила несколько индустрий как части электроники, компоненты которые требуют высоко единообразия фильма, множественное низложение медицинских инструментов слоев.
Машина RTSP1000 унифицированная машина развитая королевской технологией. Обширный приложил с вырезыванием/инструментами формировать, прессформами, медицинскими инструментами, компонентами электроники, автомобильными промышленностями.
| Основные конфигурации RTSP1000 и технические параметры | ||||||||
| МОДЕЛЬ | RTSP1000 | |||||||
| ТЕХНОЛОГИЯ | Магнетрон MF брызгая + чистка плазмы источника иона | |||||||
| МАТЕРИАЛ КАМЕРЫ | Нержавеющая сталь (S304) | |||||||
| РАЗМЕР КАМЕРЫ | Φ1000*800mm (h) | |||||||
| ТИП КАМЕРЫ | Форма d | |||||||
| ШКАФ ВРАЩЕНИЯ & СИСТЕМА ДЖИГА | вес 6 спутников максимальный: 500kgs | |||||||
| ЭЛЕКТРОПИТАНИЯ |
Qty. брызгать: Смещение KW 2*24 электропитания: электропитание 1*5KW источника иона 1*20W |
|||||||
| МАТЕРИАЛ НИЗЛОЖЕНИЯ | Ti/Cr/TiAl /Ta/Cu/Au/Carbon etc. | |||||||
| ИСТОЧНИК НИЗЛОЖЕНИЯ | Катоды брызгать 2 паров (4 частей) плоскостные + 1 линейный источник иона Зона единообразия: ±10~15% |
|||||||
| КОНТРОЛЬ | PLC (Programmable регулятор логики) + экран касания (модели деятельности manual+ auto+ полу-автоматические) | |||||||
| НАСОСНАЯ СИСТЕМА | Роторный насос лопасти: SV300B - 1 набор (Leybold) | |||||||
| Корни нагнетают: Набор WAU1001- 1 (Leybold) | ||||||||
| Удержание насоса: Набор D60C- 1 (Leybold) | ||||||||
| Насос магнитного подвеса молекулярный - 1 набор (Leybold) | ||||||||
| РЕГУЛЯТОР ПОТОКА ГАЗА МАССОВЫЙ | 4 канала, сделанного в Китае, модель 7 звезд (серии CS,) цифровая | |||||||
| ДАТЧИК ВАКУУМА | Модель: ZDF-X-LE, сделанное в Китае: ZDF-X-LE | |||||||
| ЛИНЕЙНЫЙ ИСТОЧНИК ИОНА | 1 часть Пре-обрабатывая, плазма очищая + помогать низложение | |||||||
| СИСТЕМА БЕЗОПАСНОСТИ | Многочисленные блокировки безопасности для защиты операторов и оборудования | |||||||
| ТОПЛЕНИЕ | Подогреватели: 30KW. Максимальный temp.: 450℃ | |||||||
| ОХЛАЖДАТЬ | Промышленный охладитель (холодная вода) | |||||||
| СИЛА МАКСИМАЛЬНАЯ. | 100KW (приблизительно) | |||||||
| ПОТРЕБЛЕНИЕ СРЕДНЕЙ МОЩНОСТИ | 45 KW (приблизительно) | |||||||
| ВЕС БРУТТО | T (приблизительно) | |||||||
| ПЕЧАТЬ НОГИ | (L*W*H) 4000*4000 *3200 MM | |||||||
| СИЛА ЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ | AC 380V/3 phases/50HZ/5 линий | |||||||
Низложение брызгать высокого использования цели плоскостное: пожалуйста НАЖМИТЕ ЗДЕСЬ для того чтобы наблюдать видео
Линейная чистка плазмы источника иона и помогать низложение: пожалуйста НАЖМИТЕ ЗДЕСЬ для того чтобы наблюдать видео
Пожалуйста свяжитесь мы для больше спецификаций, королевская технология удостаивает для того чтобы обеспечить вам полные покрывая решения.