
Add to Cart
Техническая конфигурация (полностью наша машина может быть подгоняна вашими продуктами и потребностями):
1. Структура камеры: вертикальная/горизонтальная структура парадного входа или непрерывная линия покрытия. Камера принимает SUS304 material.size может бытьсделана вашими продуктами.
2. Электропитание Sputtering: оборудованный с DC и средств силой 60KW-100KW frenquency
3. Цель Sputtering: оборудованный с алюминиевыми или Titanium целями.
4. Система передачи: настройка по частоте
5. Система вакуума: Насос насоса +Mechanical насоса диффузии (молекулярный насос опционный) +Roots + роторный насос лопасти (криогенный насос опционный)
6. Управление газа: регулятор потока multi путя sevenstar массовый
7. Система отопления: Controllable и регулируемый от комнатной температуры до 350 (контроль температуры PID).
9. Режим управления: ручная операция +semiautomatic + автоматический экран внедрения/касания HMI + PLC
10. Другие технические параметры:
Время насоса: 5*10-2pa<4mins>
Типичный вакуум: 5*10-4pa
Вода pressure≥0.2Mpa 3m3/h, вода temperature≤25, давление газа: 0.4-0.8Mpa