Тонкие пленки, мощные приложения: ЛитаО3 в биомедицинском сенсорировании
В области биомедицинского зондирования LiTaO3 становится переломным, благодаря своему пироэлектрическому эффекту и нашей приверженности сверхтонким пластинам.С толщиной на уровне пластины не менее 20 мм и диаметром до 4 дюймовПироэлектрический эффект, используемый в биомедицинских датчиках, обеспечивает точные измерения температуры, необходимые для различных медицинских применений.От наблюдения за пациентом до диагностических инструментов, тонкая пленка LiTaO3 становится основой для инноваций, которые отдают приоритет чувствительности и надежности в биомедицинской области.
|
Диаметр
|
76.2±0,2 мм
|
100±0,2 мм
|
150±0,2 мм
|
|
Первичная квартира
|
22±1 мм
|
32±1 мм
|
47.5 мм, 57.5 мм, вырез
|
|
Ориентация
|
36°Ю, 42°Ю, X-112°Ю, Y, Z
|
|
Толщина
|
00,02 мм - 1,0 мм
|
00,02 мм - 1,0 мм
|
00,05 мм - 1,0 мм
|
|
Окончание поверхности
|
Односторонний / Двусторонний полир / Двусторонний полир
|
|
TTV
|
< 1 ~ 5 мкм
|
|
ВЫБОК
|
± (20 мкм ~ 40 мкм)
|
|
Варп
|
<= 20μm ~ 50μm
|
|
LTV (5ммx5мм)
|
< 1,5 мм
|
|
PLTV ((<0,5um)
|
≥98% (5 мм*5 мм) с исключением края 2 мм
|
|
Полированная сторона Ra
|
Грубость Ra<=5A
|
|
Критерии сзади
|
Грубость Ra:00,5-1,0 мкм, GC#1000
|
|
Scratch & Dig (S/D)
|
20/10, 40/20, 60/40
|
|
Профиль края
|
Полностью с SEMI M1.2 @ с GC800 #.регулярный на C
|
|
Трещины, следы пилы, пятна
|
Никаких
|
|
Структура кристалла
|
Тригональная, космическая группа R3c, точка группы 3m
|
|
Параметры ячейки
|
a=5,154Å, c=13,781Å
|
|
Точка плавления
|
1650°C
|
|
Температура Кюри
|
607°С
|
|
Твердость Моха
|
5.5
|
|
Плотность
|
70,46 г/см3
|
|
Диэлектрические константы
|
ε11/ε0:51.7
|
|
ε33/ε0:44.5
|
|
Коэффициенты эластичной жесткости
|
CE11:2.33(×1011N/m2)
|
|
CE33:2.77 ((×1011N/m2)
|
|
Постоянные пьезоэлектрические напряжения
|
d22:2.4 ((×10-11C/N)
|
|
d33:0.8 ((×10-11C/N)
|
|
Диапазон передачи
|
400-4500 нм
|
|
Электрооптические коэффициенты
|
r33=30,4pm/V
|
|
Индекс преломления при 632,8 нм
|
нет=2.176, ne=2.180
|
