Гладкость c плоская высокая и высокий субстрат сапфира чистоты для полупроводника
Вафли сапфира главным образом соответствующие для научных исследований и разработки новых полупроводниковых устройств, предлагая высокие спецификации как высокая гладкость и высокая чистота в дополнение к традиционным стандартным сортам субстрата сапфира.
Основные особенности
• Высокопрочная, высокая твердость, высокая износостойкость (твердость во-вторых только к диаманту)
• Высокая пропускаемость (светлая пропускаемость в ультрафиолетовом луче к ультракрасному ряду)
• Высокая коррозионная устойчивость (высокая устойчивость к кислоте, алкалиу, плазме)
• Высокая изоляция (изолятор, не легкий для того чтобы проводить электричество)
• Тепловая проводимость сопротивления высокой жары (точки плавления 2050℃) (40 раз стекла)
Спецификация
• Нормальный размер (φ2 «, 3", 4", 6", 8", 12 "), другие особенный размер, угловая форма и другие формы могут соответствовать.
• Смогите соответствовать разнообразие плоской ориентации: c-самолет, r-самолет, m-самолет, -самолет
• Двухсторонний молоть, одно-встал на сторону мелющ
• Ориентированный на заказчика пробивать
| Материалы Кристл |
99 996% из Al2O3, особая чистота, Monocrystalline, Al2O3 |
|
| Качество Кристл |
Включения, метки блока, близнецы, цвет, микро-пузыри и центры разгона несуществующий |
|
| Диаметр |
2inch |
3inch |
4inch |
5inch | 7inch |
|
| 50.8± 0.1mm |
76.2±0.2mm |
100±0.3mm |
В соответствии с обеспечениями стандартной продукции |
|
| |
| Толщина |
430±15µm |
550±15µm |
650±20µm |
Смогите быть подгоняно клиентом |
|
| Ориентация |
C- самолет (0001) к M-самолету (1-100) или -самолету (1 1-2 0) 0.2±0.1° /0.3 ±0.1°, R-самолет (1-1 0 2), -самолет (1 1-2 0), M-самолет (1-1 0 0), любая ориентация, любой угол |
|
| Основная плоская длина |
16.0±1mm |
22.0±1.0mm |
32.5±1.5 mm |
В соответствии с обеспечениями стандартной продукции |
|
| Основная плоская ориентация |
± 0.2° -самолета (1 1-2 0) |
|
| TTV |
≤10µm |
≤15µm |
≤20µm |
≤30µm |
|
| LTV |
≤10µm |
≤15µm |
≤20µm |
≤30µm |
|
| TIR |
≤10µm |
≤15µm |
≤20µm |
≤30µm |
|
| СМЫЧОК |
≤10µm |
≤15µm |
≤20µm |
≤30µm |
|
| Искривление |
≤10µm |
≤15µm |
≤20µm |
≤30µm |
|
| Лицевая поверхность |
Epi-отполированный (Ра< 0="">
| |
| Задняя поверхность |
Точная Epi-отполированная земля (Ra=0.5 к µm 1,2), (Ра< 0="">
| |
| Примечание |
Смогите обеспечить высококачественную вафлю субстрата сапфира согласно требованию к клиентов специфическому |
|
ФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА
| Плотность |
3,97 g/cm3 |
| Точка плавления |
2040 градусов c |
| Термальная проводимость |
27,21 с (m x k) на 300 k |
| Тепловое расширение |
5,6 x 10 -6 /K (параллельная C-ось) & 5,0 (перпендикулярных C-ось) x 10 -6 /K |
| Твердость |
Knoop 2000 kg/mm 2 с индентером 2000g |
| Специфическая теплоемкость |
419 J/(kg x k) |
| Диэлектрическая константа |
11,5 (параллельная C-ось) 9,4 (перпендикулярная C-ось) на 1MHz |
| Young модуль (e) |
335 GPa |
| Модуль ножниц (g) |
148,1 GPa |
| Модуль основной массы (k) |
240 GPa |
| Эластичные коэффициенты |
C11=496C12=164C13=115
C33=498C44=148 |
| Явный предел упругости |
MPa 275 (40 000 psi) |
| Коэффициент Poisson |
0,25 |
Проверка принятия
