Add to Cart
Различные размеры высококачественных субстратов сапфира СИД
Состав сапфира глинозем (A12O3), который ковалентно скреплен 3 basals кислорода и 2 алюминиевыми basals. Кристаллическая структура шестиугольная решетчатая структура. Оптически диапазон проникания сапфира очень широк, от близко ультрафиолетового света. (190nm) к средний-ультракрасным лучам имейте хорошую светлую пропускаемость, и имейте характеристики высокой ядровой скорости, высокотемпературного сопротивления, коррозионной устойчивости, высокой твердости, высокой точки плавления (20452 градусов c), etc., и часто используйте как электронно-оптические компонентные материалы. Качество белизны ультра-высок-яркости/голубого СИД зависит от материального качества эпитаксии нитрида галлия (GaN), поэтому связано с поверхностным качеством обработки субстрата сапфира использовало. Тариф рассогласования решетки постоянн между VI-депозированными фильмами небольшой, и он соотвествует высокотемпературные сопротивления процесса эпитаксии GaN. Поэтому, субстрат сапфира стал основным материалом для продукции белого/голубого/зеленого СИД.
Ориентация вафли поверхностная | C-ось [0001] 0.35° |
Mis-ориентация к зазубрине | -0.10° к 0.10° |
Mis-ориентация по часовой стрелке 90° от зазубрины | 0.35° ± 0.10° |
Ориентация зазубрины | M-самолет (- 1 1 0 0) |
Диаметр | ± 0.20mm 150.0mm |
Толщина | ± 0.02mm 1.30mm |
Рассогласование зазубрины | -0.3° к 0.3° |
GBIR | ≤ 15um |
SBIR | ≤ 3um |
Смычок лицевой стороны | -15 к 15um |
Финиш лицевой поверхности | EPI готовое в INGN-0144 |
Backsurface | Средняя шершавость: 0,65 к 0.95um Ряд шершавости: 0.4um |
ID вафли Frontside | ID вафли на лицевой поверхности согласно с SEMII T5-96 Текст: MCXXXXXNNN-YZ MC: Вафля Silian 150mm с 0,35 mis-ориентациями к -оси XXXXX: Чистый ID серии NNN: Номер вафли YZ: Контрольная сумма |
Размеры наклона | Передний размер наклона: 50 к 150um Задний размер наклона: 50 к 200um Передний угол наклона: 35 до 55 градусов |
ROA (на 0.5mm) | -1 к 1um |
Поверхностные дефекты | Пределы спецификаций канделы PLLC 5183,0699 HC верхние |
Упаковка: | Окружающая среда чистой комнаты класса 100, в кассетах 25, под атмосферой азота. |
Преимущества продукта
Субстрат сапфира картины (PSS): Субстрат сапфира конструирован для произведения картин микроструктуры nano-масштаба специфических регулярных ростом или вытравливанием контролировать форму света выхода СИД. В то же время, он может уменьшить дефекты GaN, который выросли на субстрате сапфира, улучшить качество эпитаксии, и улучшает внутреннюю эффективность суммы СИД и увеличить светлую эффективность извлечения.
Оно имеет характеристики высокой ядровой скорости, высокотемпературного сопротивления, коррозионной устойчивости, высокой твердости, высокой светлой пропускаемости, высокой точки плавления (2045°C), etc.