

Add to Cart
4" слой кремния Инстринкт верхнего слоя вафли кремния эпитаксиальный/фосфор дало допинг подводной лодке кремния слоя вживления иона слоя
Вафля кремния эпитаксиальная слой кремния одиночного кристалла депозированного на одиночную кристаллическую кремниевую пластину (примечание: она имеет в распоряжении вырасти слой поли кристаллического слоя кремния поверх сильно данной допинг в одиночку кристаллической кремниевой пластины, но для этого нужен амортизирующий слой (как окись или поли-Си) между субстратом Си большей части и верхним эпитаксиальным слоем)
Эпитаксиальному слою можно дать допинг, по мере того как он депозирован, к точной давая допинг концентрации пока продолжающ кристаллическое строение субстрата.
Резистивность эпислоя: <1 ohm-cm="" up="" to="" 150="" ohm-cm="">
Толщина эпислоя: < 1="" um="" up="" to="" 150="" um="">
Структура: Н/Н+, Н-/Н/Н+, Н/П/Н+, Н/Н+/П-, Н/П/П+, П/П+, П-/П/П+.
Применение вафли: Цифров, линейные, сила, МОС, приборы БиКМОС.
Наши преимущества с одного взгляда
1. Предварительные оборудование и испытательное оборудование роста эпитаксии.
2. Предложите самое высококачественное с низкой плотностью дефекта и хорошей шероховатостью поверхности.
3. Сильные поддержка и технологическая поддержка научно-исследовательской группы для наших клиентов
Вафля ПАМ-СИАМЭН эпитаксиальная обслуживает спецификации:
• Диаметры: 50мм, 75мм, 100мм, 125мм, 150мм
• Ориентация вафли: <100> <111>, <110>
• Толщина ЭПИ: 4μм до 150μм
• Допанц: Мышьяк, фосфор, бор
• Типичные ряды резистивности
• 0,05 до 1 200 ом-см
• 3000 до 5 000 ом-см (внутреннеприсущие слои)
4" слой кремния Инстринкт верхнего слоя вафли кремния эпитаксиальный/фосфор данный допинг субстрат слоя вживления слоя/иона/кремния
4" вафля кремния эпитаксиальная | |
Структура вафли Си Эпи | Слой кремния Инстринкт верхнего слоя/фосфор данный допинг субстрат слоя вживления слоя/иона/кремния |
Слой кремния Инстринкт верхнего слоя | Рисистивиты≥50Ωкм, Толщина 5μм, Остаточная концентрация несущей<1> |
Слой данный допинг фосфором | Рисистивиты вокруг 0.025Ωкм (7×017/км3 данное допинг концентрацией фосфористое), Толщина 20μм, Остаточная концентрация несущей<2> |
Слой вживления иона | Поставка клиента |
Субстрат кремния | Кремний Субстрате1: 4" вафля ФЗ Си Тип н (100) Толщина 500±15μм Ресистивиты>2000Ωкм Отполированная сторона двойника ДСП Кремний Субстрате2: 4" вафля Си Н печатает (100), как (мышьяк) данный допинг, Толщина 250±25μм, Резистивность 0.001-0.005Ωкм Отполированная сторона двойника ДСП |
Единообразие вафли кремния эпитаксиальное: Слой данный допинг фосфором: Толщина Униформиты<4%, резистивность Униформиты<4% Слой кремния Инстринкт: Толщина Униформиты<4%, единообразие резистивности около 10% |
Что вафля епи кремния?
Эпитаксия процесс в котором дополнительный монокрысталлине слой кремния депозирован дальше к отполированной кристаллической поверхности кремниевой пластины. Этот процесс делает его возможной выбрать материальные свойства независимо от отполированного субстрата, и следовательно создать вафли которые имеют различные свойства в субстрате и эпитаксиальном слое. Во многих случаях это необходимо для функции компонента полупроводника.
ПАМ-СИАМЭН может предложить вам технологию и поддержка вафли, для больше информации, пожалуйста посещает наш вебсайт: https://www.powerwaywafer.com,
отправьте нами электронную почту на sales@powerwaywafer.com и powerwaymaterial@gmail.com
Качество наш наиболее высокий приоритет. ПАМ-СИАМЭН ИСО9001: 2008, имеет и делит 4 современных факорис которое могут обеспечить довольно большой ряд квалифицированных продуктов для того чтобы отвечать различные потребностямы наших клиентов, и каждый заказ должен быть обращан через нашу неукоснительную качественную систему. Отчет по испытанию обеспечен для каждой пересылки, и каждая вафля гарантия. Перед 1990, мы заявлены имели сконденсированный исследовательский центр физики дела. В 1990, разбивочное запущенное КО. предварительного материала Сямен Повервай, Лтд (ПАМ-СИАМЭН), теперь это ведущий изготовитель материала сложного полупроводника в Китае.