

Add to Cart
особая чистота 4Х Семи изолируя вафлю СиК, ранг продукции, 3" размер, низкая концентрация несущей
ПАМ-СИАМЭН обеспечивает высококачественную индустрию ваферфор СиК одиночного кристалла (кремниевого карбида) электронную и электронно-оптическую. Вафля СиК электрические свойства материалвитх полупроводника следующего поколени уникальные и превосходные термальные свойства для применения прибора высокой температуры и наивысшей мощности. Вафлю СиК можно поставить в диаметре 2~6 дюймов, и 4Х и 6Х СиК, Н типа, данный допинг азот, и полу-изолируя тип доступный. Пожалуйста свяжитесь мы для больше информации
Особая чистота Семи изолируя вафлю СиК: Должный к широкому зазору диапазона, концентрация внутреннеприсущей несущей вафли СиК очень низка на комнатной температуре. Это значение о 0.13км-3 для 3К СиК, о 5кс10^-2км2 для 4Х СиК и о 1кс10^- 6 км-3 для 6Х СиК. Это главная причина, по которой электронные устройства СиК могут работать на высокой температуре и течение утечки очень небольшое.
СВОЙСТВА КРЕМНИЕВОГО КАРБИДА МАТЕРИАЛЬНЫЕ
Полытыпе | Одиночное Кристл 4Х | Одиночное Кристл 6Х |
Параметры решетки | а=3.076 Å | а=3.073 Å |
к=10.053 Å | к=15.117 Å | |
Штабелировать последовательность | АБКБ | АБКАКБ |
Диапазон-зазор | еВ 3,26 | еВ 3,03 |
Плотность | 3,21 · 103 кг/м3 | 3,21 · 103 кг/м3 |
Тхэрм. Коэффициент расширения | 4-5×10-6/К | 4-5×10-6/К |
Индекс рефракции | отсутствие = 2,719 | отсутствие = 2,707 |
не = 2,777 | не = 2,755 | |
Диэлектрическая константа | 9,6 | 9,66 |
Термальная проводимость | 490 В/мК | 490 В/мК |
Поле нервного расстройства электрическое | 2-4 · 108 В/м | 2-4 · 108 В/м |
Дрейфовая скорость сатурации | 2,0 · 105 м/с | 2,0 · 105 м/с |
Подвижность электрона | 800 км2/В·С | 400 км2/В·С |
дырочная подвижность | 115 км2/В·С | 90 км2/В·С |
Твердость Мохс | ~9 | ~9 |
особая чистота 4Х Семи изолируя вафлю СиК, ранг продукции, 3"
размер
СВОЙСТВО СУБСТРАТА | С4Х-51-СИ-ПВАМ-250 С4Х-51-СИ-ПВАМ-330 С4Х-51-СИ-ПВАМ-430 |
Описание | Продукции ранга 4ХсубстратСЭМИ |
Полытыпе | 4Х |
Диаметр | (50,8 ± 0,38) мм |
Толщина | (250 ± 25) μм μм μм (330 ± 25) (430 ± 25) |
Резистивность (RT) | >1Э5 Ω·см |
Шероховатость поверхности | < 0=""> |
ФВХМ | <30 arcsec=""> |
Плотность Микропипе | А+≤1км-2 А≤10км-2 Б≤30км-2 К≤50км-2 Д≤100км-2 |
Поверхностная ориентация | |
На ± <0001>0.5° оси | |
С оси 3.5° к <11-20>± 0.5° | |
Основная плоская ориентация | Пройдите ± прошед параллельно параллельно 5° {1-100} |
Основная плоская длина | ± 16,00 1,70 мм |
Вторичная плоская Си-сторона ориентации: 90° кв. от ± 5° ориентации плоского | |
К-сторона: ккв 90°. от ± 5° ориентации плоского | |
Вторичная плоская длина | ± 8,00 1,70 мм |
Поверхностный финиш | Одиночная или двойная отполированная сторона |
Упаковка | Одиночная коробка вафли или мулти коробка вафли |
Годная к употреблению область | ≥ 90% |
Исключение края | 1 мм |
Выращивание кристаллов СиК
Оптовое выращивание кристаллов метод для изготовления одиночных кристаллических субстратов, делая основание для более дополнительной обработки прибора. Для того чтобы иметь прорыв в технологии СиК очевидно нам нужно продукция субстрата СиК с возпроизводимым просесс.6Х- и кристаллы 4Х- СиК растутся в графитовых тиглях в условиях высоких температур до 2100-2500°К. рабочая температура в тигле обеспечена или индуктивным (РФ) или сопротивляющимся топлением. Рост происходит на тонких семенах СиК. Источник представляет поликристаллическую обязанность порошка СиК. Пар СиК в камере роста главным образом состоит из 3 видов, намелы, Си, Си2К, и СиК2, которые разбавлены газом несущей, например, аргон. Развитие источника СиК включает и временную вариацию пористости и диаметра зерна и награфитивание зерен порошка.
Рост 3К-СиК на субстратах обширного района (кремния)
Несмотря на отсутствие субстратов СиК, потенциальные преимущества
электроники враждебн-окружающей среды СиК однако управляли
скромными научно-исследовательскими работами направленными на
получать СиК в мануфактурабле форме вафли. К этому концу,
хэтероепитаксял рост слоев одно-Кристл СиК поверх силиконсубстратес
обширного района сперва был унесен в 1983, и затем был следовать
большими много других с годами используя разнообразие методы роста.
Главным образом вследствие больших разниц в константе решетки
(разнице в ~20% между СиК и Си) и коэффициенте теплового расширения
(разнице в ~8%), хэтероепитаксы СиК используя кремний как субстрат
всегда приводит в росте 3К-СиК с очень хигх-денситы
кристаллографических структурных дефектов как штабелировать
недостатки, микротвинс, и границы домена заворота. Другие материалы
вафли ларгеареа кроме кремния (как сапфир, кремний на изоляторе, и
ТиК) были использованы как субстраты для хэтероепитаксял роста
эпислоев СиК, но приводя фильмы качества компараблыпоор с высокими
кристаллографическими плотностями дефекта. Самый многообещающий
подход 3К-СиК-он-силикон на сегодняшний день который достигал самой
низкой кристаллографической плотности дефекта включает пользу
ундулант субстратов кремния. Однако, даже с этим сильно новым
подходом, плотности дислокации остаются очень высокими сравненные к
вафлям СиК кремния и большей части шестиугольным.
Пока некоторые ограниченные электронные устройства и цепи
полупроводника были снабжены в 3К-СиК, который выросли на кремнии,
представление этих электроника (от этого сочинительства) можно
суммировать как строго ограниченный высокой плотностью
кристаллографических дефектов к степени которую почти никаким из
рабочих преимуществ обсуженных в разделе 5,3 жизнеспособно
осуществляло. Среди других проблем, дефекты кристалла «протекают»
паразитное течение через обратн-пристрастные соединения прибора где
настоящая подача не пожелана. Потому что чрезмерные дефекты
кристалла водят к недостаткам электрического прибора, пока еще
никакая коммерчески электроника изготовленная в 3К-СиК, который
выросли на субстратах обширного района. Таким образом, 3К-СиК,
который выросли на кремнии в настоящее время имеет больше
потенциала по мере того как механический материал в
микроелектромечаникал применениях систем (МЭМС) (разделе 5.6.5)
вместо быть использованным чисто как полупроводник в традиционной
полупроводниковой электронике транзистора.