

Add to Cart
Краткий инсульт высокий отклик закрытый цикл серво XYZ линейный модуль движения стадии для CNC машины
Цилиндрическая конструкция VCM (мотор голосовой катушки) использует
трубчатую структуру, в которой размещены его основные
компоненты.оба выровнены вдоль центральной оси двигателяКотушка
обычно завертывается вокруг полого цилиндра, в то время как
постоянный магнит окружает катушку.точность и скорость отклика VCM
цилиндрического голосового катушки двигателя имеет решающее
значение для достижения строгих требований процесса производства
полупроводниковЭто позволяет точно манипулировать пластинкой,
обеспечивая последовательное и высокое качество производства
полупроводниковых устройств.
Манипуляции в полупроводниковых приложениях:
Обработка пластин: во время производства полупроводников пластинки
должны быть точно расположены для различных
процессов.цилиндрический двигатель VCM интегрирован в систему
обработки пластинок для обеспечения точной выравнивания.
Выравнивание: когда пластинка должна быть расположена для
определенного процесса, система управления посылает сигнал в VCM.
Ток течет через катушку, создавая магнитное поле.Взаимодействие
между этим магнитным полем и постоянными магнитами создает силу,
которая перемещает катушку и прикрепленную нагрузку (вафер) в
нужное положение.
Контроль обратной связи: для обеспечения точности движение VCM
контролируется системой обратной связи.Если обнаружено отклонение
от целевого положения, система управления регулирует ток,
протекающий через катушку для коррекции положения.
Высокая точность: цилиндрический двигатель VCM использует механизм
прямого привода, что приводит к высокой точности.в результате
точного позиционирования.
Модель продукта | Пиковая сила | Постоянная сила | Общий удар | Пиковое течение | Пиковольт | Постоянная тяга | Разрешение кодера | Точность повторения |
VCAR0006-0050-00A | 6.2 | 2.6 | 5 | 1.7 | 15.7 | 3.57 | 0.1/0.5/1 | 1/5/10 |
VCAR0013-0072-00A | 13 | 4.2 | 7.2 | 2.3 | 26.6 | 5.72 | 0.1/0.5/1 | 1/5/10 |
VCAR0022-0098-00A | 22 | 6.5 | 9.8 | 3.8 | 24.7 | 5.8 | 0.1/0.5/1 | 1/5/10 |
VCAR0033-0099-00A | 33 | 8 | 9.9 | 4.5 | 24.3 | 5.87 | 0.1/0.5/1 | 1/5/10 |
VCAR0044-0249-00A | 44 | 11.7 | 24.9 | 4.95 | 44.9 | 8.88 | 0.1/0.5/1 | 1/5/10 |
VCAR0070-0149-00A | 70 | 27.3 | 14.9 | 4 | 26.9 | 17.7 | 0.1/0.5/1 | 1/5/10 |
VCAR0087-0062-00A | 87 | 21.67 | 6.2 | 6.85 | 34.5 | 12.7 | 0.1/0.5/1 | 1/5/10 |
VCAR0262-0112-00A | 262 | 111 | 11.2 | 6.4 | 35.1 | 41 | 0.1/0.5/1 | 1/5/10 |
VCAR0262-0249-00A | 262 | 112 | 24.9 | 10.1 | 28.2 | 26 | 0.1/0.5/1 | 1/5/10 |
VCAR0436-0250-00A | 436 | 167 | 25 | 11.7 | 31.6 | 37.2 | 0.1/0.5/1 | 1/5/10 |
VCAR1351-0310-00A | 1351 | 376.8 | 3 | 19.9 | 73.5 | 68 | 0.1/0.5/1 | 1/5/10 |
Модуль одноосиного двигателя голосовой катушки для сервоприводов короткого хода с закрытым циклом с легким весом привода и быстрой реакцией (до 20 Гт в миллисекундах).База принимает авиационную алюминиевую прецизионную обработку, хорошая стабильность, может выполнять высокоскоростное колебание и перемещение движения. простое и надежное управление, без необходимости обратного устройства, длительный срок службы без обслуживания.возможно регулирование ускорения и тягиОснащенный подходящим кодировщиком и проводником, точность позиции может достигать 0,1-5um.требования к тяге выполнены с помощью соответствующих драйверов и контроллеров. Структура платформы может быть обработана и настроена. В соответствии с различными приложениями, подходящий линейный механизм направления конфигурируется: различные типы высокоточных линейных направляющих рельсов.
Технические показатели и спецификации могут быть настроены
Мы хотим, чтобы вы были счастливы!