GS600SW Диспенсирующая машина на уровне пластинки RDL Первое приложение WLP CUF для заполнения формы пластинки
Номер модели:GS600SW
Место происхождения:Китай
Минимальное количество заказов:1
Условия оплаты:L/C, T/T, D/A, D/P, MoneyGram, Western Union
Время доставки:5-60 дней
Подробная информация об упаковке:Деревянные
контакт
Add to Cart
Проверенные Поставщика
Changzhou Jiangsu China
Адрес:
No 18-98, Changwu Middle Road, Wujin District, город Чанчжоу, провинция Цзянсу
последний раз поставщика входа:
в рамках 1 .
Информация о продукте
Профиль Компании
Информация о продукте
SS101Вафли-Уровень Распределение Машина
Для поднаполнения формы вафель
SS101 - это высокостабильная и точная система подачи на уровне пластины, которая разработана на основе требований процесса заполнения RDL First WLP.
Оборудование отвечает потребностям полупроводниковой промышленности, может быть оснащено автоматической системой загрузки и разгрузки пластин и может автоматически выполнять такие функции, как обработка пластин,выровнение Он совместим с международными протоколами полупроводниковой связи.и оснащен автоматическим интерфейсом AMHS для загрузки и разгрузки роботов, чтобы соответствовать
требования к управлению информацией и тенденции управления
беспилотником.
SS101 Система расположения
¢ Loadport & Foup
️ Выровнитель
Станция сканирования QR-кодов
Станция предварительного нагрева
Станция рассеивания тепла
Рабочая станция для диспенсирующей машины GS600SWB
Модуль управления роботом
Состав системы подачи пищи на уровне пластины SS101
- GS600SW диспенсерная машина на уровне вафель × 2
- PC101 машина для погрузки и разгрузки пластинок × 1
Области применения
- RDL Первый WLP
- Применение CUF
SS101 Операционный поток распределения на уровне пластины
Особенности и преимущества
- Поддерживает подачу 8/12 дюймовых пластин.
- Пылестой уровень 10, соответствующий экологическим требованиям упаковки на уровне пластины.
- Защита от ESD, соответствующая международным стандартам IEC и ANSI.
- Во время всего процесса обращения и работы пластины температура тщательно контролируется и автоматически корректируется для удовлетворения требований процесса CUF при одновременном обеспечении безопасности продукции.
- Видеомониторинг всего процесса облегчает оборот продукции, наблюдение за процессом работы, отслеживание и анализ проблем
Технические спецификации
| Система SS101 | GS600SWA * 1,GS600SWB * 1, PC101 Wafer Handling Machine * 1 (EFEM) | |
| Области применения | RDL Первый WLP, CUFПрименение | |
| Уровень чистоты | Чистота рабочей зоны | Класс 100 (мастерская класса 1000) Класс 10 (мастерская класса 100) |
Области применения продукции | Поддержка размера пластины | φ200mm±0.5mm, φ300mm±0.5mm (Стандартная модель поддерживает только 12-дюймовые пластины) |
| Поддержка толщины пластины | 300-2550 мкм | |
| Максимально допустимый диапазон вафры | < 5 мм (согласно типу роботового пальца) | |
| Максимально допустимая масса пластины | 600 г (в зависимости от типа роботового пальца) | |
| Кассеты из вафелей | 8-дюймовый открытый кассетный диск, 12-дюймовый Foup (стандартная модель поддерживает только 12-дюймовые пластины) | |
PC101 (EFEM) | Способ погрузки и разгрузки | Загрузочный порт+роботы |
| Точность предварительного выравнивания | Округленное отклонение коррекции центра≤±0,1 мм; отклонение коррекции угла≤±0,2 ° | |
| Читатель пластин | Поддерживает шрифты SEMI (плоские или выпуклые/выпуклые поверхности), не-SEMI шрифты | |
| Диапазон температуры предварительного нагрева | Температура в помещении ~ 180°C | |
| Способ охлаждения пластины | Естественное охлаждение или охлаждение воздухом | |
Система управления движением | Механизмы передачи | X/Y: Линейный двигатель Z: Сервомотор и винтовой модуль |
| Повторяемость | X/Y: ±3μmZ: ±5μm | |
| Точность позиционирования | X/Y: ±10μm | |
| Максимальная скорость движения | X/Y: 1000 мм/с Z: 500 мм/с | |
| Максимальная ускоренная скорость | X/Y: 1g Z: 0,5g | |
Система зрения | Пиксели камеры | 130 Вт |
| Точность распознавания | ± 1 пиксель | |
| Диапазон распознавания | 12 × 16 мм<�Расстояние распознавания < 19,2 × 25,6 мм | |
| Источник света | Комбинированный трехцветный источник света красный, зеленый, белый + красный | |
| Система калибровки веса | Точность взвешивания | 00,01 мг |
Нагрузка на стол | Отклонение плоскости вакуумной поверхности | ≤ 3 0 мм |
| Диапазон температуры нагрева | Температура в помещении ~ 180°C | |
| Отклонение температуры нагрева | ≤ ± 1,5 °C | |
| Повторяемость высоты подъема | ± 10 м | |
| Вакуумное всасывающее давление | -70~-85Kpa Установляемая | |
Устройства | Отпечаток (W*D*H) | 3075×2200×2200мм ((Экран развернут) |
| Вес | 2.9t | |
| Электрическое питание | 200 ~ 240VAC,47 ~ 63HZ (единофазное адаптационное питание к напряжению) | |
| Электрический ток | 75А | |
| Сила | 16.5 кВт | |
| Ингаляция | (0,5 МПа, 450 л/мин) ×5 пути | |
| Рабочая температура окружающей среды | 23°C±3°C | |
| Относительная влажность рабочей среды | 30 ~ 70% | |
GS600SW Диспенсирующая машина на уровне пластинки RDL Первое приложение WLP CUF для заполнения формы пластинки
Запрос Корзина
0