

Add to Cart
Информация о продукте:
Имя | Цель по покрытию PVD танталом |
Уровень | РО5200 РО5400 РО5252 РО5255 |
Чистота | ≥ 99,95% |
Плотность | 160,68 г/см3 |
Поверхность | Обработанная поверхность, без ям, царапин, пятен, выпуклов и других дефектов |
Стандартный | ASTM B708 |
Форма | Плоская мишень, вращающаяся мишень, специальная настройка. |
Химическое содержание ПВД покрытия танталом:
Уровень | Основные элементы | Содержание нечистоты менее % | |||||||||||
Да. | Nb | Фэ | Да, да. | Ни. | W | Мо | Ти | Nb | О | В | H | N | |
Ta1 | Оставайся. | —— | 0.005 | 0.005 | 0.002 | 0.01 | 0.01 | 0.002 | 0.04 | 0.02 | 0.01 | 0.0015 | 0.01 |
Ta2 | Оставайся. | —— | 0.03 | 0.02 | 0.005 | 0.04 | 0.03 | 0.005 | 0.1 | 0.03 | 0.01 | 0.0015 | 0.01 |
TaNb3 | Оставайся. | <3.5 | 0.03 | 0.03 | 0.005 | 0.04 | 0.03 | 0.005 | —— | 0.03 | 0.01 | 0.0015 | 0.01 |
TaNb20 | Оставайся. | 17.023.0 | 0.03 | 0.03 | 0.005 | 0.04 | 0.03 | 0.005 | —— | 0.03 | 0.01 | 0.0015 | 0.01 |
Ta2.5W | Оставайся. | 0.005 | 0.005 | 0.002 | 3 | 0.01 | 0.002 | 0.04 | 0.02 | 0.01 | 0.0015 | 0.01 | |
Ta10W | Оставайся. | 0.005 | 0.005 | 0.002 | 11 | 0.01 | 0.002 | 0.04 | 0.02 | 0.01 | 0.0015 | 0.01 |
Особенности ПВД-тантальной цели:
высокая температура плавления,
Низкое давление пара,
Хорошие рабочие характеристики на холоде,
высокая химическая устойчивость,
Высокая устойчивость к коррозии жидких металлов,
Поверхностная оксидная пленка имеет большую диэлектрическую
постоянную
Применение:
Тантальная цель и медная обратная цель сварятся, а затем выполняется полупроводниковое или оптическое распыливание,и атомы тантала оседают на материале субстрата в виде оксидов для достижения распылительного покрытияВ полупроводниковой промышленности тантальные цели используются в основном в полупроводниковых покрытиях, оптических покрытиях и других отраслях промышленности.металл (Ta) в настоящее время в основном используется для покрытия и формирования барьерного слоя посредством физического отложения пара (PVD) в качестве целевого материала.
Мы можем обрабатывать согласно чертежу клиента, и производить Та стержень, пластину, проволоку, фольгу, крепеж и т.д.
Пожалуйста, отправьте нам запрос для получения дополнительной информации