Add to Cart
Том 50×60×40км тестера ХЗ-1728 машин лабораторных испытаний отполированный материалом
Описание оборудования:
HZ-1728 Материал Полированный Тестер полируется, изнашивается или шлифуется до необходимой толщины образца.
Тестер полированной поверхности
Полезная модель относится к устройству обнаружения, в частности к
детектору полированной поверхности, который может эффективно
обнаруживать мелкие дефекты и загрязнения на поверхности или
подповерхности пластины.
С бурным развитием технологий микроэлектроники увеличивается
количество транзисторов, интегрированных на полупроводниковых
пластинах.Ученые из корпорации Fairchild Semiconductor в США
несколько десятилетий назад предположили, что количество
транзисторов, которые можно изготовить на определенной площади
пластин, будет удваиваться каждые восемнадцать месяцев.В последние
два десятилетия прогресс интеграции следовал этому закону, и ученые
предсказывают, что этот закон будет действовать и в ближайшие
десять-двадцать лет.Поэтому площадь, занимаемая каждым транзистором
на пластине, становится все меньше и меньше.Прогнозируется, что в
ближайшем будущем каждый транзистор будет состоять всего из дюжины
или даже меньшего количества кристаллических атомов.Эта тенденция
развития выдвинула более жесткие требования к разработке и
производству полупроводниковых пластин.Небольшие дефекты или
загрязнения серьезно повлияют на работу устройства и даже приведут
к его выходу из строя.При разработке и производстве
крупномасштабных и сверхкрупногабаритных интегральных схем первым
шагом является отбраковка пластин с небольшими дефектами или
загрязнениями, в противном случае это серьезно повлияет на выход
продукции.Поэтому обнаружение микродефектов и загрязнений на
поверхности или подповерхности механохимически полированной
пластины постепенно становится одной из ключевых технологий,
связанных с качеством полированной пластины полупроводниковых
материалов и производительностью изготовления прибора.К сожалению,
в настоящее время не существует устройства, которое могло бы
эффективно обнаруживать микроскопические дефекты и загрязнения на
поверхности или под поверхностью пластины.
Целью этой полезной модели является создание детектора полирующей
поверхности, который может точно отображать топографию поверхности
и подповерхностной поверхности полируемой поверхности на подходящем
носителе в виде визуального изображения, и в то же время
поверхность и подповерхностные присущие, из-за обработки и дефекты
окружающей среды появляются на изображении.Материалы, которые он
может обнаруживать, обычно включают металлы, полупроводниковые
материалы и другие твердые вещества с аналогичными свойствами.
Как было задумано выше, техническая схема настоящей полезной модели
представляет собой детектор с полированной поверхностью,
отличающийся тем, что он состоит из шасси, устройства управления,
устройства источника света, размещенного в шасси, устройства подачи
пробы, экран изображения и устройство камеры;при этом устройство
транспортировки пробы состоит из устройства, соединенного со схемой
управления транспортировкой пробы;устройство формирования
изображения соединено со схемой управления формированием
изображения;схема управления включает в себя схему управления
усилением, фокусным расстоянием, апертурой и схему управления
трансляционным каскадом;все входные концы вышеуказанных цепей
управления соединены с выходом устройства управления в устройстве
управления. Конечное соединение: выходной конец устройства камеры
подключен к входному концу монитора.
Технические параметры:
Модель | ГЦ-1728 |
двигатель | 1/3 л.с. |
объем | 50×60×40см |
масса | 55 кг |
Источник питания | 1∮, 220 В переменного тока, 2,6 А |