фильмы ниобата лития вафли 2inch 3inch 4inch LNOI LiNbO3 тонкие наслаивают на субстрат кремния

фильмы ниобата лития вафли 2inch 3inch 4inch LNOI LiNbO3 тонкие наслаивают на субстрат кремния

Процесс подготовки вафли LNOI показан ниже, включая следующие 5 шагов:

(1) вживление иона: Машина вживления иона использована для того чтобы управлять с высокой энергией им ионы от верхней поверхности кристалла ниобата лития. Когда он ионы со специфической энергией войдет кристалл, они будут помешаны атомами и электронами в кристалле LN и постепенно замедлить и остаться на специфическом положении глубины, разрушая кристаллическую структуру около этого положения и разделяя кристалл LN в верхние и более низкие слои A/B. И зона a идет быть тонким фильмом что нам нужно сделать LNOI.

(2) подготовка субстрата: Для того чтобы сделать вафли ниобата лития тонкого фильма, определенно не возможно выйти сотни фильмов nm LN тонких в приостанавливанное государство. Кладя в основу поддерживая материалы необходимы. В общих вафлях SOI, субстрат слой кремниевых пластин с толщиной больше чем 500um, и после этого слой диэлектрика SiO2 подготовлен на поверхности. В конце концов, фильм monocrystalline кремния тонкий скреплен на верхней поверхности для того чтобы сформировать вафли SOI. Как для вафель LNOI, Si и LN обыкновенно используемые субстраты, и после этого слой диэлектрика SiO2 подготовлен термальным процессом кислорода или низложения PECVD. Если поверхность слоя диэлектрика неровна, то химический механический меля процесс CMP необходим для того чтобы сделать верхнюю поверхность ровным и ровным, которая удобна для последующего скрепляя процесса.

(3) выпуск облигаций фильма: Используя прибор выпуска облигаций вафли, ион имплантировал кристалл LN обращен 180 градусов и скрепил к субстрату. Для продукции вафли ровной, скрепляя поверхности обоих субстратов и LN приглажены, обычно сразу выпуском облигаций без потребности для промежуточных материалов связывателя. Для научного исследования, BCB (benzocyclobutene) можно также использовать как материал связывателя промежуточного слоя для того чтобы достигнуть для того чтобы умереть для того чтобы умереть выпуск облигаций. Режим BCB скрепляя имеет низкое требование на гладкости скрепляя поверхности, которая очень соответствующая для экспериментов по научного исследования. Однако, BCBS не имеют долгосрочную стабильность, поэтому выпуск облигаций BCB обычно не использован в продукции вафли

(4) обжигать и обнажать: После 2 кристаллических поверхностей скрепите и необходим прессованный, высокотемпературный процесс отжига и обнажать. После того как поверхность 2 кристаллов приспособлена, она сперва поддерживает некоторое время на специфической температуре усилить силу выпуска облигаций интерфейса, и делает впрыснутый пузырь слоя иона, так, что фильмы a и b постепенно будут отделены. В конце концов, механическое оборудование использовано для того чтобы слезть 2 фильма врозь, и после этого постепенно уменьшить температуру к комнатной температуре для выполнения всего процесса отжига и обнажать.

(5) сплющивать CMP: После обжигать, поверхность вафли LNOI груба и неровна. Более дополнительный сплющивать CMP необходим для того чтобы сделать фильм на квартире поверхности вафли и уменьшить шероховатость поверхности.

Характерная спецификация

Дисплей фильмов вафли ниобата лития тонких наслаивает на субстрат кремния

вопросы и ответы –
Q: Что вы можете поставить снабжение и цену?
(1) мы признаваем DHL, Federal Express, TNT, UPS, EMS, SF и etc.
(2) если вы имеете ваш собственный срочный номер, то оно большие.
Если не, мы смогли помочь вам для того чтобы поставить. Freight=USD25.0 (первый вес) + USD12.0/kg
Q: Как оплатить?
T/T, PayPal, западное соединение, MoneyGram, безопасная оплата и торговое обеспечение на Alibaba и etc…
Q: Что MOQ?
(1) для инвентаря, MOQ 5pcs.
(2) для подгонянных продуктов, MOQ 5pcs-20pcs.
Оно зависит от количества и методов
Q: Вы имеете отчет о проверке для материала?
Мы можем поставить подробный отчет для наших продуктов.

Упаковка – снабжение
мы связаны с каждой деталью пакета, чистки, противостатического, и шоковая терапия. Согласно количеству и форме продукта,
мы примем различный упаковывая процесс!