Главный вафли кремниевого карбида особой чистоты/вафли манекена/ультра ранга 4Х-Семи СиК для прибора 5Г

СВОЙСТВО СУБСТРАТА

Ранг продукции

Ранг исследования

Фиктивная ранг

Диаметр

100,0 мм +0.0/-0.5мм

Поверхностная ориентация

{0001} ±0.2°

Основная плоская ориентация

<11->20> ̊ ± 5,0

Вторичная плоская ориентация

90,0 ̊ КВ от основного ̊ ± 5,0, кремния лицевого

Основная плоская длина

32,5 мм ±2.0 мм

Вторичная плоская длина

18,0 мм ±2.0 мм

Край вафли

Чамфер

Плотность Микропипе

см2 ≤5 микропипес/

см2 ≤10микропипес/

см2 ≤50 микропипес/

Зоны Полытыпе светом высоко-интенсивности

Никакие позволили

зона ≤10%

Резистивность

≥1Э5 Ω·см

(зона 75%) ≥1Э5 Ω·см

Толщина

350,0 μм μм ± 25,0 μм или 500,0 ± 25,0 μм

ТТВ

≦10μм

μм ≦15

Смычок (абсолютная величина)

μм ≦25

μм ≦30

Искривление

μм ≦45

Поверхностный финиш

Двойной блеск стороны, КМП стороны Си (полировать химиката)

Шероховатость поверхности

Сторона Ра≤0.5 нм КМП Си

Н/А

Отказы светом высоко-интенсивности

Никакие позволили

Обломоки/инденц края диффузным освещением

Никакие позволили

Кты.2<> ширина и глубина 1,0 мм

Кты.2<> ширина и глубина 1,0 мм

Полная годная к употреблению область

≥90%

≥80%

Н/А

Свойство

Ранг у (ультра)

Ранг п (продукции)

Ранг р (исследования)

Ранг д (фиктивная)

Диаметр

150,0 мм±0.25 мм

Поверхностная ориентация

± 0.2° {0001}

Основная плоская ориентация

<11-20> ̊ ± 5,0

Вторичная плоская ориентация

Н/А

Основная плоская длина

47,5 мм ±1.5 мм

Вторичная плоская длина

Никакие

Край вафли

Чамфер

Плотность Микропипе

≤1 /cm2

≤5 /cm2

≤10 /cm2

≤50 /cm2

Зона Полытыпе светом Высоко-интенсивности

Никакие

≤ 10%

Резистивность

≥1Э7 Ω·см

(зона 75%) ≥1Э7 Ω·см

Толщина

350,0 μм μм ± 25,0 μм или 500,0 ± 25,0 μм

ТТВ

μм ≦10

Смычок (абсолютная величина)

μм ≦40

Искривление

μм ≦60

Поверхностный финиш

К-сторона: Оптически полировать, Си-сторона: КМП

Шершавость (10μм ×10μм)

Ра Си-стороны КМП<> 0,5 нм

Н/А

Отказ светом Высоко-интенсивности

Никакие

Обломоки/Инденц края диффузным освещением

Никакие

Кты≤2, длина и ширина каждое<> 1мм

Полезная площадь

≥90%

≥80%

Н/А