Магнитно Levitated вибрация CXF-320/3000E вакуумного насоса Turbomolecular низкая
Номер модели:CXF-320/3000E
Место происхождения:Китай
Количество минимального заказа:1
Условия оплаты:T/T, L/C
Срок поставки:4weeks
Упаковывая детали:Деревянная коробка для международной пересылки
контакт
Add to Cart
Проверенные Поставщика
Beijing Beijing China
Адрес:
Но. 13 tiao Zhongguancun Bei er, район Haidian, Пекин, 100190
последний раз поставщика входа:
в рамках 27 .
Информация о продукте
Профиль Компании
Информация о продукте
Maglev Pump, CXF-320 / 3000E, Waterr, ISO-F, внешний контроллер
Молекулярные насосы с магнитной левитацией - это насосы, чей вал поддерживается магнитной силой.
Серийные молекулярно-левитированные молекулярные насосы - это оборудование для создания вакуума, разработанное KYKY для удовлетворения требований применения в областях современного производства полупроводников, производства микросхем, промышленного покрытия и научных приборов.
Электромагнитный подшипник также называют «активными магнитными левитированными медведями», состоящими из магнитного подшипника, датчика и системы управления. Эта конструкция имеет динамический отклик и своевременную регулировку, высокоскоростной вал и надежную работу.
Преимущества:
1. Нулевое трение во время работы и низкое энергопотребление
2. Легко получить действительно чистый высокий вакуум и сверхвысокий вакуум без смазки для насосов
3. Способен извлекать едкие газы на длительный срок
4. Высокая безопасность и длительный срок службы благодаря защите подшипников с помощью прецизионных керамических шариков.
5. функция генерации энергии при внезапном отключении питания
6. без трения
7. Без загрязнения
8. Без обслуживания
9. Низкая вибрация
10. устанавливается в любой ориентации.
технологии:
- Технология управления для магнитного подшипника: 5-осевая магнитная левитация. Эта конструкция может иметь динамический отклик и своевременную регулировку с помощью динамической технологии управления активной замкнутой магнитной подвеской, основанной на передовой международной теории управления, чтобы гарантировать такие существенные преимущества высокоскоростного вала, как стабильная левитация и надежная работа.
- Технология управления приводом двигателя: Высокопроизводительный высокоскоростной двигатель постоянного тока и система сервоуправления применяются к насосам с последовательной магнитной подвеской, чтобы иметь максимальную энергию двигателя и автоматически компенсировать скорость вращения вала, тем самым обеспечивая стабильный запуск, надежная работа и функция автоматического регулирования динамической энергии.
- Углеродные композитные роторные технологии. Турботоры серийных магнитных подвесных молекулярных насосов изготавливаются путем смешивания высокопрочного алюминиевого сплава и легкого углеродного волокна. По сравнению со всеми роторами из алюминиевого сплава турбо-роторы отличаются значительным уменьшением веса и значительным улучшением прочности, благодаря чему достигаются цели с высокой скоростью вращения, высокой производительностью и высокой надежностью.
- Устойчивая к коррозии технология: Поверхности деталей в камерах серийных магнитных суспензионных молекулярных насосов обрабатываются специальным способом, так что поверхности могут длительное время противостоять коррозии, вызванной коррозионными газами в процессах производства полупроводников. Кроме того, такие инертные газы, как N2, полностью заполнены в валу насосов для защиты деталей низкого вакуума в насосах, так что реализуется функция стабильного выпуска агрессивных газов в течение длительных периодов времени.
- Система контроля температуры нагрева: Серийные молекулярные насосы с магнитной левитацией оснащены электрическим нагревателем и регулятором температуры, так что охлаждающая вода, воздушный нагрев, электрический нагрев и тепло, переносимое защитными газами, можно контролировать и контролировать во время работы, температуру в Насосы могут поддерживаться на определенном уровне в течение длительного времени, некоторые газообразные вещества не преобразуются в твердые вещества при нормальной температуре и не осаждаются в насосах, и могут быть выполнены требования для специального процесса, такого как травление.
Характеристики:
| Фланец (В) | DN250 ISO-F |
| Фланец (Out) KF | DN50 |
| Скорость откачки (л / с) | N 2 : 3000 |
| Ar: 2750 | |
| Он: 2300 | |
| H 2 : 1100 | |
| Степень сжатия | N 2 : 10 8 |
| Ar: 10 8 | |
| Он: 10 4 | |
| H 2 : 10 3 | |
| Предельное давление (Па) | CF: 1 × 10 -6 |
| ISO-K / F: 6 × 10 -6 | |
| Максимум. Непрерывное форвакуумное давление (Па) | 40 |
| Максимум. Форвакуумное давление | N 2 : 290 |
| Газ по всему (м.кв.) | N 2 : 5800 |
| Ar: 2200 | |
| Он: 4300 | |
| H 2 : 3100 | |
| Скорость вращения (об / мин) | 21000 |
| Время запуска (мин) | ≤18 |
| Тип охлаждения, Стандартный | вода |
| Расход охлаждающей воды (л / мин) | 1 |
| Температура охлаждающей воды (℃) | 20 |
| Подключение питания: напряжение (V AC) | 220 |
| Модель контроллера | CXF-3000 |
| Вес (кг) | 70 |
Приложения:
Серийные магнитно-левитированные молекулярные насосы в основном применяются в областях производства полупроводников, зажимов, промышленных покрытий и научных инструментов, особенно для извлечения агрессивных газов, присутствующих в травлении, CVD, PVD и ионной имплантации, и газов, легко коагулирующих при нормальной температуре.
Магнитно Levitated вибрация CXF-320/3000E вакуумного насоса Turbomolecular низкая
Запрос Корзина
0