Водяное охлаждение Magenetically Levitated система ISO-K/CF контроля температуры топления насоса

Молекулярные насосы с магнитной левитацией - это насосы, вал которых поддерживается за счет магнитной силы, отвечая требованиям применения в областях современного производства полупроводников, изготовления микросхем, промышленного покрытия и научных приборов.

технологии:

• Технология управления для магнитного подшипника: 5-осевая магнитная левитация, основанная на передовой международной теории управления, для обеспечения таких значительных преимуществ высокоскоростного вала, как стабильная левитация и надежная работа.
• Технология управления приводом двигателя: Высокоэффективный высокоскоростной двигатель постоянного тока и система сервоуправления, обеспечивающие максимальную энергию двигателя и автоматически компенсирующие скорость вращения вала, обеспечивая тем самым стабильный запуск, надежную работу и функцию автоматического регулирования динамической энергии. ,
• Углеродная композитная роторная технология: изготовлена ​​путем смешивания высокопрочного алюминиевого сплава и легкого углеродного волокна. характеризуется значительным снижением веса и значительным улучшением прочности, благодаря чему достигаются цели с высокой скоростью вращения, высокой производительностью и высокой надежностью.
• Устойчивая к коррозии технология: Поверхности деталей в камерах обрабатываются специальным способом, так что поверхности могут противостоять коррозии, вызванной коррозионными газами в процессах производства полупроводников в течение длительного времени. Кроме того, инертные газы, такие как N2, полностью заполнены в валу насосов для защиты деталей низкого вакуума в насосах, так что обеспечивается функция стабильного выпуска агрессивных газов в течение длительных периодов времени.
• Система контроля температуры нагрева: оснащенная электрическим нагревателем и регулятором температуры, во время работы можно контролировать и контролировать тепло, переносимое защитными газами, охлаждающую воду, нагрев воздуха, переносимый защитными газами, температуру в насосах можно поддерживать на некотором уровне В долгосрочной перспективе некоторые газообразные вещества не превращаются в твердые вещества при нормальной температуре и не осаждаются в насосах, и могут быть соблюдены требования к специальному процессу, например травлению.

Преимущества:

Эти насосы имеют такие преимущества, как нулевое трение во время работы и низкое энергопотребление, простота приобретения действительно чистого высокого вакуума и сверхвысокого вакуума без смазки для насосов, возможность извлечения агрессивных газов в течение длительного срока, высокая безопасность и длительный срок службы благодаря защите подшипников с точными керамическими шариками и функцией выработки энергии в случае внезапного отключения питания. Он имеет такие свойства, как отсутствие трения, загрязнения и технического обслуживания, а также низкий уровень вибрации и может быть установлен в любой ориентации.

Приложения:

Извлечение агрессивных газов, присутствующих в травлении, CVD, PVD и ионной имплантации, и газов, легко коагулирующих при нормальной температуре в областях производства полупроводников, изготовления зажимов, промышленных покрытий и научных инструментов, особенно в

Характеристики:

CO. ТЕХНОЛОГИИ KYKY, LTD., было основано в 1958, пионере из технологии вакуума и оптике электрона в Китае. В прошлых 60 летах, KYKY было предназначено к снабжать всесторонние решения вакуума клиенты во всем мире.

KYKY изобрело первый набор насоса Turbo молекулярного, коммерчески детектора утечки гелия и просматривая электронного кинескопа в Китае.

KYKY предлагает решения, консультацию и обслуживания технологии вакуума к нашим клиентам. Главные продукты приложены в полях наук о жизни, инженерства медицины, автомобильной промышленности, воздушно-космического пространства, энергетической промышленности, конструкционных материалов, современного украшения, лидирующей бытовой электроники, etc.

В духе нововведения технологии и ориентации клиента. KYKY непрерывно будет вносить вклад в более дальнейшее развитие в индустрии вакуума Китая.

CO. ТЕХНОЛОГИИ KYKY, LTD. имеет много лет опытов в НИОКР и производстве продуктов поколения вакуума, включая насосы серии молекулярные, насосные серии молекулярные, насосы иона серии, запорные заслонки серии и поддерживая регуляторы.

С развивать первый вертикальный насос turbo молекулярный в 1970's, KYKY всегда ориентирует

к управляемому требовани рынку, направляет соотвествовать наших клиентов, и непрерывно запускает новые продукты в духе предприятия превращаться на нововведении, последовательно KYKY запускает смазанные маслом магнитно levitated насосы turbo серии молекулярные, тавот-смазанные насосы серии молекулярные и CXF-серии

молекулярные насосы.

Насосы KYKY молекулярные получают широкое применение для того чтобы оборудовать поля массовых спектрометров и поверхностных анализаторов, к оптически киносъемке, дисплею с плоским экраном, вытравливанию иона, производству диска, фотоэлементам и предприятиям освещения, и к учебным заведениям и институтам НИОКР. На основании превосходного стоить представления, эти продукты выигрывают хорошую репутацию от большинства потребителей. Изделия высокого качества выведены от наших непрерывных технических прорыва и преследования качества.

KYKY настойчиво обеспечит лучшие продукты и качественные сервисы для клиентов нашим непрерывным нововведением, страстью и

обязательство.