TaN Ta2O5 Оптические пленки Система осаждения магниторонным спуттером, Помощная осаждение ионным пучком

Магнитное распыление широко используется для отложения огнеупорных металлов, таких как тантал, титан, вольфрам,Ниобий, который требует очень высоких температур осаждения, и драгоценные металлы: золото и серебро, которые также используются для отложения металлов с низкой температурой плавления, таких как медь, алюминий, никель, хром и т. д.

Тантал чаще всего используется в электроннойпромышленностькак защитное покрытие из-за его хорошей устойчивости к эрозии.

Применение тонкой пленки с распыляемым танталом:
1- микроэлектронная промышленность, поскольку пленки могут быть реактивно распылены и, таким образом, сопротивляемость и температурный коэффициент сопротивления могут контролироваться;

2. Медицинские приборы, такие как имплантаты для тела, из-за его высокой биосовместимости;
3. Покрытия на коррозионностойких деталях, таких как термоуборы, корпуса клапанов и крепежные устройства;
4. Тантал, распыляемый, также может использоваться в качестве эффективного барьера коррозионной стойкости, если покрытие непрерывное, дефектное и прилипает к субстрату..

5Промышленность полупроводников, микроэлектронные чипы

Технические преимущества

1. Применяется стандартизированная тележка, которая позволяет легко и безопасно загружать/выгружать держатели субстрата и рабочие части в/из камеры отложения
2. Система безопасно переключена, чтобы предотвратить неправильную работу или небезопасные методы
3. Нагреватели субстрата, установленные в центре камеры, с термопарой под управлением PID для высокой точности, повышают сцепление фильма с конденсацией.
4. Сильные вакуумные насосы с магнитно-подвесным молекулярным насосом через шлюзовой клапан, подключенный к камере; подкрепленный корневым насосом Leybold и двухуровневым вращающимся насосом, механическим насосом.
5. С этой системой применяется источник высокоэнергетической ионизированной плазмы для обеспечения однородности и плотности.
   
   
   

Стандартная система отложения танталом Royal Technology: RTSP1000

Пожалуйста, свяжитесь с нами для получения дополнительных приложений и спецификаций.

Компания Shanghai Royal Technology Inc. была основана в 2006 году и является мировым поставщиком высококачественного вакуумного оборудования с ключевыми офисами по всему миру.Технологии исследований и разработок поддерживаются специализированными инженерами в США и Китае.Высокотехнологичные производственные мощности расположены в Шанхае, а наша глобальная сеть сервисных центров обеспечивает быстрый ответ на обслуживание клиентов в ключевых местах.

Шанхайская Королевская Технология стремится к инновационному дизайну и выбору высококачественных компонентов.В сочетании с особо тщательным процессом сборки и первоклассной командой талантливых техников и изобретателей, что позволяет нам предлагать решения по покрытию под ключ с высоким стандартом вакуумного оборудования, отвечающего и часто превышающего западный стандарт.Мы полны решимости обслуживать мировой рынок в различных отраслях, таких как::

Потребительская электроника, автомобильная промышленность, возобновляемая энергия, архитектура, нано и биомедицинские материалы.

Модель RTAS, арки и распыливания интегрированные серийные оборудования могут производить высокоотражающие черные и бронзовые пленки специально для высококачественных декоративных покрытий.

RTSP1200-FCEV, это система распыливания с процессом PECVD для отложения тонкой пленки на модули питания водородными топливными элементами.Автомобили с топливными элементами - это новейшая технология для следующего поколения экологически чистых автомобилейОсновное преимущество и технологический прогресс по сравнению с обычно используемыми батареями, такими как сухие батареи, заключается в необходимости повторного процесса перезарядки.но водородные топливные элементы питания требуют только реакции водорода и кислорода для получения энергии для вождения.

RTSP1200-DPC,Эта система покрытия используется исключительно для производства керамических субстратов DPC (Direct Plating Copper).Например, в высокой яркости светодиод для увеличения долговечности из-за его высокой производительности теплового излучения, полупроводниковое оборудование, в микроволновой беспроводной связи, военной электронике, различных сенсорных подложках, аэрокосмической, железнодорожной транспортировки, электроэнергии и многое другое.

RT-CsI950, завод испарения покрытия применяется к отложению пленки CsI для устройств рентгеновской визуализации.Высокое разрешение позволяет этому приложению быть чрезвычайно эффективным и разрушительным в медицинском инструменте, атомной энергетики, проверки безопасности и инспекции, физики высоких энергий и многое другое.

Шанхайская Королевская Технология также успешно разработала и разработала кубическую и цилиндрическую модель большого размера алюминиевой вакуумной металлизирующей системы, которая используется для покрытия автомобильных логотипов.

Живи локально, думай глобально - это наше видение.Всегда стремиться к инновациям для достижения взаимовыгодных ситуаций в нашей экосистеме международных партнеровКак пионеры в индустрии оборудования для вакуумного покрытия, мы никогда не полагались на предыдущие достижения,но мы постоянно пытались исследовать постоянно меняющийся мир вакуумной промышленности покрытия всегда создавать оптимальные экономические, социальные и экологические преимущества для наших клиентов.

КУЛЬТУРА КРАЛЬСКОЙ ТЕХНОЛОГИ

Видение Королевства:Быть всемирно известным поставщиком бренда, предоставляющего полные решения для требований клиентов.

Королевская миссия:защищает окружающую среду, спасает нашу голубую планету; улучшить рабочие условия, повысить эффективность работы, полностью помочь владельцам снизить затраты на производство.

Философия Королевской:человекоориентированные, честные, инновационные и вносят наибольший вклад в общество.

Стоимость Royal:Инновации, передовые технологии, НИОКР, обслуживающие промышленность Китая и всего мира.

Служба королевской семьи:ОДНА СТОПА обслуживания, с отличными технологиями и продуктами, профессиональная преданность обслуживанию наших клиентов.