AlN на эпитаксиальных пленках AlN вафель шаблона диаманта на субстрате диаманта

AlN на эпитаксиальных пленках AlN вафель шаблона диаманта на субстрате AlN диаманта на сапфире /AlN-on-SiC/ AlN-НА кремнии

Нитрид алюминия (AlN) один из немногих неметаллических материалов с высокой термальной проводимостью и имеет широкие перспективы применения рынка. Химический полупроводник изготовляя CO., Ltd. осуществлял для того чтобы обеспечить много клиентов с 2 шаблонами фильма нитрида алюминия дюймов inches/4 основанными на диамант, 2 шаблонами фильма нитрида алюминия дюймов inches/4 основанными на кремни, низложения пара нитрида алюминия одиночного кристаллического и других продуктов, и может также быть основан на прикладных требованиях. Carry out подгонял рост.

Преимущества AlN
• Сразу зазор диапазона, ширина зазора диапазона 6.2eV, важный глубокий ультрафиолетов и ультрафиолетов люминисцентный материал
• Высокая сила электрического поля нервного расстройства, высокая термальная проводимость, высокая изоляция, низкая диэлектрическая константа, низкий коэффициент теплового расширения, хорошее механическое представление, коррозионная устойчивость, обыкновенно используемая в высокой температуре и частоте коротковолнового диапазона
Прибор наивысшей мощности
• Очень хорошее пьезоэлектрическое представление (особенно вдоль C-оси), которое один из самых лучших материалов для подготовки различных датчиков, водителей и фильтров
• Он имеет очень близкие константу решетки и коэффициент теплового расширения к кристаллу GaN, и предпочитаемый материал субстрата для heteroepitaxial роста GaN основал электронно-оптические приборы.

Преимущества применения
• UVC субстрат СИД
Управленный отростчатой ценой и требованиями высокого выхода и высокого единообразия, субстрат AlGaN основал UVC обломок СИД большого наклона толщины, крупноразмерных и соответствующих. Скошенные субстраты сапфира больший выбор. Более толстый субстрат может эффектно разрешить анормалное искажение эпитаксиальных вафель причиненных концентрацией напряжений во время эпитаксии
Единообразие эпитаксиальных вафель можно улучшить; Более большие субстраты могут значительно уменьшить влияние края и быстро уменьшить общую стоимость обломока; Соответствующий скосите угол смогите
Улучшить поверхностное словотолкование эпитаксиального слоя, или комбайн с эпитаксиальной технологией для того чтобы сформировать влияние локализацией несущей Ga богатое в активном регионе суммы хорошо, для того чтобы улучшить светящую эффективность.
• Переходный слой
Используя AlN по мере того как амортизирующий слой может значительно улучшить эпитаксиальные свойства качества, электрических и оптически фильмов GaN. Рассогласование решетки между GaN и AIN субстратом 2,4%, термальное рассогласование почти нул, который не может только избежать термального стресса причиненного высокотемпературным ростом, но также значительно улучшить эффективность продукции.
• Другие применения
К тому же, фильмы AlN тонкие можно использовать для пьезоэлектрических тонких фильмов приборов поверхностной акустической волны (ПИЛЫ), пьезоэлектрических тонких фильмов оптовых приборов акустической волны (FBAR), изолируя похороненные слои материалов SOI, и однокрасочный охлаждать
Материалы катода (используемые для дисплеев излучения поля и микро- трубок вакуума) и пьезоэлектрические материалы, высокие приборы термальной проводимости, оптикоакустические приборы, ультра ультрафиолетовый луч и детекторы рентгеновского снимка.
Пустое излучение электрода сборника, диэлектрический материал прибора MIS, защитного слоя средства магнитооптический записывать.

Деталь спецификации: