Магнетрон брызгая машина
Место происхождения:Китай
контакт
Add to Cart
Активный участник
Chongqing Chongqing China
Адрес:
Block 4, No. 5, Torch Ave, Jiulongpo District, Chongqing,400080 China
последний раз поставщика входа:
в рамках 45 .
Информация о продукте
Профиль Компании
Информация о продукте
Основные технические индексы:
1. окончательный вакуум: PA ³ ≤6.6X10
2. система обнаружения вакуума принимает молекулярный насос +
механический блок насоса
3. непрерывный нагнетать на 30 минут, степень вакуума чем или
равный к PA ³ 8x10
4. цилиндрические цели брызгать могут работать независимо или в то
же время
5. субстрат ≤60mm в диаметре, можно нагреть к ≤700℃, с водяным
охлаждением, скорость регулируемая, регулируемый момент субстрата
основания цели
| Компонент | Состав и спецификации | |
| Камера вакуума | Номер | Одиночная камера |
| Материал | нержавеющая сталь 304 | |
| Форма | Цилиндрическая вертикальная структура | |
| Размер | Φ300XH250 | |
| Верхнее уплотнение | Уплотнение фтора резиновое | |
| Сопло | Содержит интерфейс датчика вакуума 2, нескольк брызгать магнетрона интерфейс цели, интерфейс клапана глубокого вакуума, интерфейс трубы дренажа, интерфейс обзорного иллюминатора, интерфейс 3 клапанов, интерфейс 3 и работая механизм электрический интерфейс 2 введение. | |
| Раскрывая режим | Подъемное устройство обложки без верхний подниматься | |
| Освещать/суша | лампа освещения 1x1000W, засыхание лампы галоида 1x1000w, суша температура в пределах 200℃ | |
| Насосные системы вакуума | главный насос | Молекулярный насос 1pc |
| forepump | насос роторной лопасти 6L механический | |
| насос предварительной откачки | ||
| клапан | Клапан глубокого вакуума принимает ультравысокий вакуум 1pc, клапан стравливания давления принимает стоп ультравысокого вакуума клапан 3 | |
| Труба/совместное | Трубка нержавеющей стали точности, составленная мембран, быстро разгрузите улицу и двойную карту соединение рукава | |
| Система вакуума измеряя | Составной датчик вакуума, датчик принимает полностью датчик металла обнаженный | |
| Магнетрон брызгая система | Магнетрон брызгая источник | Один или два магнетрон R60 брызгая цели |
| Положение установки цели | Плита камеры вакуума | |
| Электропитание | DC0.5KW, RF0.5KW каждое 1pc | |
| размер цели | Круглая медная цель Φ60x2pcs | |
| Деятельность дефлектора | Сразу вал 1pc | |
| Система субстрата | Размер/количество субстрата | Φ≤60mm, 1pc |
| Вращение субстрата | autoroatation, скорость 0-120/minute | |
| Вращающий момент основания цели | 10cm, регулируемо (±5cm) | |
| Топление субстрата | Смогите быть нагрето под 700℃, с водяным охлаждением | |
| контроль температуры | Управление PID, точность контроля ±1℃ | |
| Система охлаждения воды | охлаждать цели | С охлаждая трубой водопровода и никакой охлажденной водой или недостаточный давление охлажденной воды, вода реле давления отключено и электропитание цели отрезано предотвратить цель от перегревать |
| Вакуум - система охлаждения | Молекулярный охлаждать насоса | |
| Охлаждать субстрата | Охлаждать охлажденной воды | |
| Средство доставки газа | Транспортировать режим | газопровод и загрузочный клапан пропущены через вакуум стенка камеры |
| Управление газа | Регулятор потока MFC массовый | |
| Рамка | структура | Алюминиевая рамка |
Магнетрон брызгая машина
Запрос Корзина
0