Датчик массового распространения газа принципа ±1000SCCM Microbridge передачи тепла AWM42300V

Характер продукции:

Датчик массового распространения газа принципа ±1000SCCM Microbridge передачи тепла AWM42300V

Особенности:

Unamplified датчик массового распространения газа серии AWM40000, (mV), ряд подачи/давления: ±1000 SCCM (1,0 SLPM); Тип интерфейса: Коллектор.

деятельность

Принцип датчика массового распространения газа microbridge передача тепла. Массовый расход потока газа направлен через поверхность чувствительного элемента. Напряжение тока выхода пропорционально к массе воздуха или другого газа пропуская через вход и выход пакета. Специально конструированное снабжение жилищем оптимально направляет и контролирует воздушный поток через microstructured чувствительные элементы. Пакет механически конструирован легко быть установленным на плате с печатным монтажом.

Датчик массового распространения газа microbridge содержит предварительный силиконовый чип основанный на предварительной технологии микроструктуры. Обломок использует тонкий фильм и адиабатную среднюю надстройку с подогревателем и чувствительным элементом температуры. Средняя надстройка может ответить быстро и обидчиво к воздушному потоку воздуха или другим газам пропуская через обломок. Двойные чувствительные элементы с обеих сторон элемента центрального отопления также показывают направление и скорость потока. Лазер-исправленные плотная пленка и сопротивление фильма обеспечить последовательную взаимозаменяемость от датчика к датчику во все времена.

Датчики массового распространения газа Microbridge используют термальные резисторы в оболочке в фильмах нитрида кремния. Приостанавливаны эти резисторы, формируя 2 моста над вытравляя полостью силиконового чипа. Обломок помещен в канале воздушного потока размера *** для того чтобы обеспечить repeatable ответ подачи. Путем вытравлять полость под подачей воспринимая мост, подогреватель и воспринимая резистор может достигнуть эффективной термальной изоляции. Небольшой размер и термальная функция изоляции датчика массового распространения газа microbridge достигнуть ответа максимальной скорости и высокой чувствительности к воздушному потоку.

Мосты близнеца Wheatstone контролируют измерение воздушного потока - одно предусматривает управление подогревателя короткозамкнутого витка и другое содержит двойные чувствительные элементы. Цепь подогревателя уменьшает изменение выхода причиненное изменениями температуры окружающей среды путем обеспечивать выход пропорциональный к массовому расходу потока. Эта цепь поддерживает температуру подогревателя на разнице в температуры постоянного над температурой окружающей среды (°C 160), которая определена измерением термального сопротивления на обломоке. Выход прибора пропорциональн к подаче напряжения и также соответствует к дифференциальному напряжению тока мостиковой схемы Wheatstone.

Спецификации: