CO. печи брата Zhengzhou, Ltd

We Master Heat ! | 200 ~ 2200℃

Manufacturer from China
Проверенные Поставщика
7 лет
Главная / продукты / Lab Tube Furnace /

Автоматическая печь трубки лаборатории увеличила печь низложения химического пара

контакт
CO. печи брата Zhengzhou, Ltd
Посетите вебсайт
Город:zhengzhou
Область/Штат:henan
Страна/регион:china
Контактное лицо:MrKevin Zhang
контакт

Автоматическая печь трубки лаборатории увеличила печь низложения химического пара

Спросите последнюю цену
Номер модели :БР-ПЭКВД
Место происхождения :Китай
Количество минимального заказа :1 комплект
Термины компенсации :L / C, T / T, Western Union
Способность поставкы :200 комплектов в месяц
Срок поставки :7-21 рабочих дней
Упаковывая детали :Сильная деревянная коробка для глобальной доставки
Максимальная температура :1200℃
Нормальный вакуум :-0.1Мпа
Максимальный вакуум :Насос конфигурации молекулярный, ПА вакуума 7кс10-4 (опционное)
Фланец :фланец запечатывания нержавеющей стали 304
предохранение от Сверх-температуры :автоматическое выключение когда температура превысит позволяемое установленное значение
Предохранение от безопасности :Автоматически выключение когда корпус печи протечет
Структура печи :охлаждающий вентилятор двойного слоя стальной двойной, температура поверхности под 50℃
МАКСИМАЛЬНЫЙ ТАРИФ НА ОТОПЛЕНИЕ :20°К /min
Точность температуры :±1℃
Единообразие температуры :±5℃
Контроль температуры :50 этапов программабле и автоматического контроль
Трубка печи :Трубка кварца
Применение :Плазма увеличила печь низложения химического пара
more
контакт

Add to Cart

Найти похожие видео
Посмотреть описание продукта

Плазма лаборатории увеличила печь низложения химического пара до 1200 градусов
 
Умное введение PECVD:
Система PECVD конструирована для того чтобы уменьшить температуру реакции традиционного CVD. Она установила оборудование индукции RF перед традиционным CVD для того чтобы ионизировать реагировать газ, поэтому плазма произведена. Плазма высокорадиоактивная реакция ускоренные ход должные к высокорадиоактивному плазмы. Так, эта система вызвана PECVD.
Эта модель новое изделие, она синтезировала преимущества большинств систем трубки PECVD, и добавила подогревая зону во фронте системы PECVD. Тесты показали что скорость низложения более быстра, качество фильма лучшие, отверстия, и не треснут. Система управления AISO полностью автоматическая умная независимо конструирована нашей компанией, более удобно работать и своя функция более сильна.
Широкий ряд применения: металлопленочный, керамический фильм, составной фильм, непрерывный рост различных фильмов. Легкий для увеличения функции, смогите расширить чистку плазмы вытравите и другие функции
 
 
Основная особенность:

  • Высокий тариф низложения фильма: Технология зарева RF, значительно увеличивая тариф низложения фильма, тариф низложения может достигнуть 10Å/s
     
  • Высокое единообразие зоны: Предварительная многопунктовая технология RF питаясь, особенное распределение пути газа, и технология топления, etc., делают достигаемость 8% индекса единообразия фильма
     
  • Высокая последовательность: используя предварительную идею проекта индустрии полупроводника, отступление между субстратами одного низложения чем 2%
     
  • Высокая отростчатая стабильность: Сильно стабилизированное оборудование обеспечивает непрерывный и стабилизированный процесс

Автоматическая печь трубки лаборатории увеличила печь низложения химического пара
 
Стандартные запасные части:

  • Затыкать ПК трубки 4
  • ПК трубки печи 1
  • ПК вакуумного насоса 1
  • Наборы фланца 2 запечатывания вакуума
  • ПК датчика вакуума 1
  • Доставка & вакуумный насос газа
  • Оборудование плазмы RF

 
Опционные запасные части:
 

  • Фланец быстрого выпуска, трехсторонний фланец
  • 7 scree касания дюйма HD

 
 
 
Увеличенные плазмой стандартные технические условия печи низложения химического пара:

1. Система отопления
Max.temperature1200℃ (1 час)
Работая температура≤1100℃
Размер камерыΦ100*1650mm (diamater трубки ориентировано на заказчика)
Материал камерыДоска волокна глинозема особой чистоты
ТермопараТип k
Temperatureaccuracy±1℃
Контроль температуры

●50 programmable этапов для точного контроля тарифа на отопление, охлаждая тарифа и обитать время.

●Построенный в функции Автоматическ-настройки PID с предохранением от перегревая & сломленная термопары сломленным.

●Станция автоматического регулирования PLC регулятором ПК внутрь.

●Система контроля температуры, сползая систему (время и расстояние) смогла быть проконтролирована программой.

Нагревая длина440mm
Постоянн нагревая длина200mm
Нагревающий элементПровод сопротивления
ЭлектропитаниеОдиночная фаза, 220V, 50Hz
Расклассифицированная сила9kW
2. Источник плазмы RF
Частота RF13,56 MHz±0.005%
Сила выхода500W
Макс отражает силу500W
Интерфейс выхода RF50 Ω, N типа, женских
Стабильность силы±0.1%
Гармоническая составляющая≤-50dbc
Подача напряжения/частотаОдиночная фаза AC220V 50/60HZ
Вся эффективность>=70%
Фактор силы>=90%
Охлаждая методПринуженный - воздух
3. Система управления 3 счетчиков- расходомеров массы точности
Внешний размер600x600x650mm
Тип соединителяSwagelok SS совместное
Стандартный ряд (n2)0~100sccm, 0~200sccm, или ориентированное на заказчика
Точность±1.5%
Линейный±0.5~1.5%
Повторимость±0.2%
Время на ответ

Свойство газа: Sec 1~4;
Электрическое свойство: Sec 10

Ряд давления0.1~0.5 MPa
Max.pressure3MPa
ИнтерфейсΦ6,1/4»
Дисплейдисплей 4 чисел
Температура окружающей средыгаз особой чистоты 5~45
Манометр- 0.1~0.15 MPa, 0,01 MPa/блок
Остановите клапанΦ6
Польская трубка SSΦ6
Низкая система вакуума включила
 

 
Почему плазма лаборатории брата увеличила печь низложения химического пара?

  • Изготовитель с опытом лет 10+
  • Самое лучшее качество
  • Подгонянный дизайн
  • Лицо имеющее трудовые стажи
  • Большая фабрика


Клиенты от больше чем 30 стран выбирают нас

  • Удовлетворяемые клиенты предлагают доказательство нашего обязательства к превосходным дизайну, качеству и эффективности затрат.


Самое лучшее обслуживание, быстрая реакция

  • Свободный дизайн для особенной печи
  • Свободная служба технической поддержки для продолжительности жизни
  • Свободный типовой тест

 
Если вы заинтересованы в нашей увеличенной плазмой печи низложения химического пара, то контакт мы теперь для того чтобы получить цитату!
 
























Запрос Корзина 0