Информация о продукте:
| Имя |
Цель по покрытию PVD танталом |
| Уровень |
РО5200 РО5400 РО5252 РО5255 |
| Чистота |
≥ 99,95% |
| Плотность |
160,68 г/см3 |
| Поверхность |
Обработанная поверхность, без ям, царапин, пятен, выпуклов и других дефектов |
| Стандартный |
ASTM B708 |
| Форма |
Плоская мишень, вращающаяся мишень, специальная настройка. |
Химическое содержание ПВД покрытия танталом:
| Уровень |
Основные элементы |
|
Содержание нечистоты менее % |
| |
Да. |
Nb |
Фэ |
Да, да. |
Ни. |
W |
Мо |
Ти |
Nb |
О |
В |
H |
N |
| Ta1 |
Оставайся. |
—— |
0.005 |
0.005 |
0.002 |
0.01 |
0.01 |
0.002 |
0.04 |
0.02 |
0.01 |
0.0015 |
0.01 |
| Ta2 |
Оставайся. |
—— |
0.03 |
0.02 |
0.005 |
0.04 |
0.03 |
0.005 |
0.1 |
0.03 |
0.01 |
0.0015 |
0.01 |
| TaNb3 |
Оставайся. |
<3.5 |
0.03 |
0.03 |
0.005 |
0.04 |
0.03 |
0.005 |
—— |
0.03 |
0.01 |
0.0015 |
0.01 |
| TaNb20 |
Оставайся. |
17.023.0 |
0.03 |
0.03 |
0.005 |
0.04 |
0.03 |
0.005 |
—— |
0.03 |
0.01 |
0.0015 |
0.01 |
| Ta2.5W |
Оставайся. |
|
0.005 |
0.005 |
0.002 |
3 |
0.01 |
0.002 |
0.04 |
0.02 |
0.01 |
0.0015 |
0.01 |
| Ta10W |
Оставайся. |
|
0.005 |
0.005 |
0.002 |
11 |
0.01 |
0.002 |
0.04 |
0.02 |
0.01 |
0.0015 |
0.01 |
Особенности ПВД-тантальной цели:
высокая температура плавления,
Низкое давление пара,
Хорошие рабочие характеристики на холоде,
высокая химическая устойчивость,
Высокая устойчивость к коррозии жидких металлов,
Поверхностная оксидная пленка имеет большую диэлектрическую постоянную
Применение:
Тантальная цель и медная обратная цель сварятся, а затем выполняется полупроводниковое или оптическое распыливание,и атомы тантала оседают на материале субстрата в виде оксидов для достижения распылительного покрытияВ полупроводниковой промышленности тантальные цели используются в основном в полупроводниковых покрытиях, оптических покрытиях и других отраслях промышленности.металл (Ta) в настоящее время в основном используется для покрытия и формирования барьерного слоя посредством физического отложения пара (PVD) в качестве целевого материала.
Мы можем обрабатывать согласно чертежу клиента, и производить Та стержень, пластину, проволоку, фольгу, крепеж и т.д.
Пожалуйста, отправьте нам запрос для получения дополнительной информации
