Цель брызгать молибдена роторная для цели магнетрона
1. Описание цели брызгать молибдена роторной для цели магнетрона:
Цель брызгать молибдена роторная цель магнетрона, которая обычно сделана в цилиндрическую форму с неподвижным магнитом внутрь, который вращает на медленной скорости во время деятельности. Общие технические характеристики изделия следующим образом: ID-133/OD-157x 3191mm; ID-133/OD-157 x 3855mm; ID-160/OD-180x1800mm. Мы предлагаем молибдену роторные цели в различных регулярных размерах, и можем также подвергнуться механической обработке согласно требованиям к клиента специфическим.
Материалы для покрытий в форме закрутки молибдена брызгая цели использованы для произведения слоев молибдена для задних контактов СИГАРЕТ или транзисторов тонкого фильма для экранов индикаторной панели (TFT LCD, OLED). Монолитовые вращая цели не имеют никакой вкладыш и поэтому построили материала для покрытий 100%. Эти цели могут значительно улучшить брызгать представление пока включающ более высокий объем. Таким образом, увеличенный материальный выход также уменьшает производительные расходы в покрывая процессе сравненном к скрепленным вращая целям.
2. особенности цели брызгать молибдена роторной для цели магнетрона:
Оно имеет требования к хорошей работы, как температура пользы цели молибдена вращая 1800°C, самая высокая температура пользы 2310°C, плотность 10,2 g/cm3, и очищенность 99,95%, поэтому она часто использована в подготовке фотоэлементов, архитектурноакустического стекла, автомобильного стекла, полупроводников, ТВ индикаторной панели, etc.
3. преимущество цели брызгать молибдена роторной для цели магнетрона:
Цель молибдена вращая метод для того чтобы улучшить норму использования молибдена брызгая цель. Сравненный с целью молибдена плоскостной, на дизайн структуры цели молибдена вращая показано существенные преимущества молибдена брызгая цель. Продолжительность жизни цели определена как брызгать времена силы брызгая время, или полная толщина материала которую можно депозировать на субстрате. Изменение в геометрии и дизайне от цели молибдена плоской к цели молибдена роторной увеличивало норму использования цели, и норму использования можно увеличить от 30% до 50% из цели молибдена плоской до > 80% из цели молибдена роторной. К тому же, если жизнь материала цели измерена путем умножать силу брызгать к время брызгать, то жизнь цели молибдена вращая 5 раз более длинна чем эта из цели молибдена плоской. В виду того что цель молибдена роторная вращает непрерывно во время процесса брызгать, будет никакое тяжелое низложение на своей поверхности.
4. химическое содержание цели брызгать молибдена роторной для цели магнетрона:
| Количественный анализ |
| Элемент |
Ni |
Mg |
Fe |
Pb |
Al |
Bi |
Si |
CD |
Ca |
P |
| Концентрация (%) |
0,003 |
0,002 |
0,005 |
0,0001 |
0,002 |
0,0001 |
0,002 |
0,0001 |
0,002 |
0,001 |
| Элемент |
C |
O |
N |
Sb |
Sn |
|
|
|
|
|
| Концентрация (%) |
0,01 |
0,003 |
0,003 |
0,0005 |
0,0001 |
|
|
|
|
|
| Очищенность (металлическое основание) Mo ≥99.95% |
| Элемент |
Ni |
Pb |
Fe |
Mg |
Al |
Bi |
CD |
Si |
P |
| Концентрация (%) |
0,0014 |
<0>
| 0,0047 |
<0>
| 0,0002 |
<0>
| <0>
| <0>
| <0>
|
| Элемент |
C |
N |
Sb |
Sn |
Cu |
|
|
|
|
| Концентрация (%) |
0,0021 |
0,03 |
<0>
| <0>
| <0>
| |
|
|
|
| Очищенность (металлическое основание) Mo ≥99.97 |
|
Пожалуйста нажмите под кнопкой для для того чтобы выучить больше наши продукты.
