Leader Precision Instrument Co., Ltd
Your partner for Metrology Solutions
Add to Cart
Вафля проверяя микроскоп Inspect500
Использование
ПРОВЕРИТЕ серию измеряя металлургический микроскоп широко используйте в пакетах полупроводника, пусковых площадках припоя, высоте петли, панелях FPD (LCM), уровне CSPS вафли и так далее.
Особенности & преимущества вафли проверяя микроскоп
■Высокоточные мраморные основание, таблица и столбец для обеспечения высоких стабильности и ригидности
■Мраморный дизайн таблицы, с рельсом точности клиновидным перекрестным, обеспечивает что долгосрочная польза без деформирует, эффектно гарантирует высокую механическую точность
■Высококачественные оптическая система и CCD высоко-разрешения обеспечивают края резкого изображения
■источник света кольца СИД 3-кольца и 8-зоны поверхностный холодный и источник света контура, избегают деформации частей точности причиненных жарой от света
■Опционное Nikon опрокидывая trinocular nosepiece трубки + quintuple
■Независимые научные исследования и разработки программного обеспечения изображения измеряя, сильный и легкий для того чтобы работать
Технические данные
| Модель | INSPECT300 | INSPECT400 | INSPECT500 | ||||
| X, перемещение Y-osи (mm) | 300*200 | 400*300 | 500*400 | ||||
| Размер этапа стеклянный (mm) | 357*257 | 457*357 | 557*457 | ||||
| Перемещение оси z (mm) | 100 | ||||||
| X, y, разрешение оси z (μm) | 1 | ||||||
| Блок длины | Линейный масштаб | ||||||
| Измеряя точность (μm) | длина 2.5+L/150 L=measuring (mm) | ||||||
| Режим деятельности (x, y) | Руководство | ||||||
| Режим деятельности (z) | CNC | ||||||
| Система изображения | Высокая камера CCD разрешения | ||||||
| Nosepiece quintuple | 5X | 10X | 20X | 50X | |||
| Окуляр | WF10X | ||||||
| Измеряя программное обеспечение | 2D измеряя программное обеспечение | ||||||
| Освещение | Переданный | система Epi-освещения | |||||
| Контур | Свет контура СИД параллельный | ||||||
| Электропитание | AC100~240V 50/60Hz | ||||||