Посмотреть описание продукта
Промышленность полупроводников Графитовые компоненты
Высокопроизводительные графитовые решения, предназначенные для производственных процессов полупроводников:
- Вертикальные, дискообразные одночленные графитовые постаменты с поверхностным SiC-покрытием для оборудования для эпитаксии кремния
- Сверхвысокочистые графитовые тигли для производства однокристаллического карбида кремния
- Специализированные приборы для обработки полупроводников:
- Графитовые электроды, опорные блоки и защитные покрытия для имплантации ионов
- Электроды графитовые для плазменного гравирования
- Формы, высококачественные шаблоны и конструкции для упаковки полупроводников
- Компоненты высокотемпературной обработки:
- Графитовые тигли, лодки и принадлежности для индукционного нагрева
- Обработка оксида германия и полупроводниковых материалов, расплавленных в зоне
- Приложения для плавки металлов высокой чистоты
- Нагреватели и теплоизоляционные покрытия из графита для процессов Czochralski
- Нагреватели и электроды из высокочистого графита для производства сапфира методом HEM
Технические спецификации
| Уровень |
Плотность грунта (г/см3) |
Электрическое сопротивление (μΩ⋅m) |
Прочность на сжатие (MPa) |
Прочность на изгиб (MPa) |
Твердость берега |
Содержание пепла (ppm) |
Тепловое расширение (*10−6/°C) |
Теплопроводность W/m⋅K |
Модуль Янга (GPa) |
Заявления |
| CDI-S1 |
1.8 |
12.5 |
90 |
45 |
58 |
5 |
4.5 |
105 |
10 |
Полупроводники |
| CDI-S20 |
1.8 |
10 |
75 |
43 |
50 |
5 |
4.3 |
140 |
9 |
Полупроводники |
| CDI-S3 |
1.78 |
11 |
85 |
40 |
45 |
5 |
3.8 |
120 |
10 |
Полупроводники |
