Посмотреть описание продукта
Графит PECVD Описание промышленного класса
Графит PECVD представляет собой высокопроизводительный компонент графита, специально разработанный для плазменных процессов химического отложения паров (PECVD).мелкозернистый графит, обеспечивает отличную тепловую стабильность, равномерную проводимость и низкий уровень примесей, критически важный для окружающей среды, чувствительной к загрязнению.Его оптимизированная микроструктура обеспечивает последовательное взаимодействие плазмы и равномерное отложение пленки на всех подложках.Благодаря низкому тепловому расширению и сильной устойчивости к тепловому удару, графит PECVD сохраняет целостность измерений при быстром цикле температуры.Факультативные поверхностные покрытия еще больше повышают устойчивость к окислению и продолжительность жизниШироко используется в полупроводниковом производстве и тонкопленочных системах отложения, обеспечивает точное управление процессом, повторяемость и долгосрочную эксплуатационную надежность.
| Уровень |
Плотность грунта (г/см3) |
Электрическое сопротивление (μΩ·m) |
Прочность на сжатие (MPa) |
Прочность на изгиб (MPa) |
Твердость берега |
Содержание пепла (ppm) |
Очищенный пепел: Графитизация (ppm) |
Очищенный пепел: Продукт (ppm) |
Коэффициент теплового расширения (*10−6/°C) |
Теплопроводность W/m·K |
Модуль Янга (GPa) |
Заявления |
| CDI-1A |
1.85 |
10-13 |
90 |
45 |
60 |
300 |
50 |
5 |
5.5 |
133 |
11.5 |
Полупроводники, Тепловая зона в фотоэлектрической промышленности, Керамическое синтерирование, Вакуумная печь |
| CDI-1B |
1.8 |
10-13 |
86 |
40 |
55 |
300 |
50 |
5 |
5.4 |
121 |
10 |
Полупроводники, Тепловая зона в фотоэлектрической промышленности, Керамическое синтерирование, Вакуумная печь |
| CDI-1C |
1.82 |
11-15 |
100 |
48 |
58 |
300 |
50 |
5 |
5.6 |
120 |
10.6 |
Полупроводники, Тепловая зона в фотоэлектрической промышленности, Керамическое синтерирование, Вакуумная печь |
| CDI-1D |
1.75 |
12-16 |
80 |
40 |
58 |
300 |
50 |
5 |
5.8 |
108 |
10 |
Полупроводники, Тепловая зона в фотоэлектрической промышленности, Керамическое синтерирование, Вакуумная печь |
