Керамический цыпленок вакуума включает таблицу, таблицу обеспечен с вогнутым телом; основание аранжировано на вогнутой таблице, разделенном основании и таблица расположена в плоскости такое же; слой матрицы высасывателя аранжирован на таблице и разделение на низкопробном слое субстрата включает первую часть всасывания имея первый радиус и вторая часть во-вторых радиуса и радиуса первого радиуса меньше чем во-вторых; работая слой аранжирован на сосать диске на первой части; первая наружная структура кольца аранжирована на таблице на краю наружного кольца; и первая зажимая структура, и вторые наборы наружного кольца составляют аранжированный на слое цыпленка и основном слое высасывателя; вогнутая платформа аранжирована в вакууме через совместное отверстие рабочей станции соединяясь, разделенное основание обеспечена с соответствуя отверстием вакуума соединения вакуума первым соединяясь отверстия, высасывателя слой матрицы обеспечен с множественностью второго всасывания вакуума через отверстие основного слоя. Эта схема улучшает стабильность и эффективность оборудования.

цыпленок вакуума; прибор сжатия вакуума
стол; ставить; галерея; пол оператинг; работая платформа
основание; постамент; учреждение; лампстанд; кровать
высасыватель; трочал диск; сосать диск; асетабулум; асетабула

Керамический прибор сжатия вакуума особенный инструмент используемый в процессе продукции полупроводника для адсорбции и нагрузки. Он приложен к процессам утончать, дисинг и другого. Высасывателю произведенному нашей компанией можно соответствовать японскому, немецкому и отечественному оборудованию, и имеет главные преимущества представления цены.

Характеристики керамического прибора сжатия вакуума

Он имеет превосходную химическую стойкость и не реагирует с любым веществом;

Хорошие плоскостность и параллелизм;

Он имеет характеристики равномерной структуры, высокопрочный и стойкости;

Поры равномерны и сила адсорбцией ровна;

Легкий для изменения, короткий цикл обработки;

Его можно подгонять согласно требованиям клиента.

Прибор сжатия вакуума предложений Мингруй керамический для улучшенного управления выхода в обработке вафли полупроводника. конфигурации Низко-поверхност-контакта уменьшают риск частиц задней стороны, которые имеют отрицательный удар по геометрии вафли в применениях точности. Предложения компании:

Весьма сопротивление носки
Крупноразмерная возможность - 300мм и за пределами
Низкое тепловое расширение
Высокая жесткость
Исключительно облегченный
Блеск зеркала
Ультра-плоские возможности

Теплостойкие, не-дискредитирующие регулируя оружия обеспечивают высокую функциональность.

Теплостойкая, дамагелесс регулируя рука. Мы можем покрыть как диамант как углерод (DLC) к керамической поверхности для увеличенной функциональности которая смягчает повреждение к вафлям/стеклянным панелям и предотвращает загрязнение от отражать.

Продукты: Керамические цыплята и конц-еффекторс вафли

Керамические прибор и конц-еффекторс сжатия вакуума использованы для того чтобы манипулировать и снести кремниевые пластины

через весь производственный процесс. Химическая инерционность керамики позволяет тем компонентам быть свободна от загрязнени для вафли в частности в химических влажных ваннах вытравливания.
Эти детали включают регуляцию крупноразмерных вафель и могут быть конструированы с каналами вакуума для удержания части.

Компоненты применений керамические можно использовать в следующем технологическом оборудовании полупроводника:

Низложение и ион имплантируют машины
Химическое влажное оборудование вытравливания
машины Отказ-анализа
Электростатические цыплята

Мингруй керамическое может предложить следующие продукты:

Плиты изолятора для электростатических цыплят (Э-цыплят)
Базовые платины для термо- цыплят
Конц-еффекторс

Наиболее обыкновенно используемые керамические материалы являются следующими:

Глинозем – или алюминиевая окись – минимум глинозема 95% керамический
зирконя

Керамическая игра плиты всасывания вафли ключевая роль на оборудовании переноса вафли как автоматические выгружатель вафли и машинное оборудование затяжелителя вафли.

Плита всасывания вакуума вафли ЛПКВД керамическая главным образом использована в солнечном создании фильма полупроводника тонко, как нагрузка вафли диффуссион и разгружает машину. Она использовала для загрузки и разгружать вафли.

Теплостойкие, не-дискредитирующие регулируя оружия обеспечивают высокую функциональность.

Шлюпка вафли зирконя изготовления Мингруй керамическая используемая на автоматической печи диффузии системы управления вафли. Как зирконя керамический с чарактеристик износоустойчивого, высокая температура устойчивая,

керамическая шлюпка вафли хороший выбор для несущей вафтер.

Интегрированный разгружать лоадинг& вафли, разгружая отраженные вафли от керамической шлюпки вафли

к кассете или нагружать текстурированные вафли от кассеты к керамической шлюпке вафли. Доступный для двойных вафель спиной к спине в одном слоте в керамической шлюпке вафли которые осуществляют одиночную бортовую диффузию или доступный для одиночной вафли в слоте для двойного бортового процесса диффузии. С непрерывной вафлей лоадинг&уньлоадинг может гарантировать непрерывное производство. Или используйте только для загрузки вафли или разгружать также доступен.

Керамическая шлюпка вафли для расквартировывать полупроводник или солнечную вафлю состоя из

по крайней мере один член поддержки вафли содержа по крайней мере один слот способный на получать по крайней мере часть периферийного края вафли, при котором в поддержке вафли член состоит из кремниевого карбида; и

по крайней мере один структурный член для транспортировать шлюпку вафли в и из обрабатывая прибор соединился с членом поддержки вафли, при котором структурный член состоится из керамического материала который нет кремниевого карбида.

Технические характеристики

·С непрерывным лоадинг& вафли разгружать может гарантировать непрерывное производство. Или используйте только для загрузки вафли или разгружать также доступен.

·С идеальными обнаружением и аварийной системой которая гарантирует стабилизированную и автоматическую деятельность.

·С методом циркуляции опорного плитя кассеты которые уменьшают трудовую интенсивность.

·Модульная структура программы управления, сильно репеатабле и читаемый, которая удобна для расширения функции в будущем и обслуживании;

·С дизайном данным по рецепта который позволяет оборудование работать с различными видами керамической шлюпки вафли с различной точностью, пока идущее оборудование следовать шлюпкой нет автоматически и восстановит соответствуя данные по рецепта без человеческой интервенции.

Лист даты глинозема & Зирконя керамический:

Свойства	Блоки	Глинозем 95	Глинозем 99	ЗрО2
Плотность	g / ³ см	3,65	3,92	³ 5.95-6.0г/км
Абсорбция воды	%	0	0	0
Коэффициент теплового расширения	10^-6/К	7,9	8,5	10,5
Модуль Мод упругости Йоунг	ГПа	280	340	210
Коэффициент Поиссон	/	0,21	0,22	0,3
ХВ твердости ХВ	МПа	1400	1650	1300-1365
Комнатная температура Флексурал прочности @	МПа	280	310	950
Флексурал прочность @700°К	МПа	220	230	210
Комнатная температура удельной работы разрыва @	МПа	2000	2200	2000
Твердость трещиноватости	*м ^1/2 МПа	3,8	4,2	10
Комнатная температура тепловой проводимости @	W/ м*к	18-25	26-30	2-2.2
Электрическая комнатная температура резистивности @	Ω*мм2 /m	>10¹⁵	>10¹⁶	>10¹⁵
Максимальная температура пользы	°К	1500	1750	1050
Сопротивление к кисловочное алкалическому	/	высокий	высокий	высокий
Диэлектрическая константа	/	9,5	9,8	26
Диэлектрическая прочность	КВ/мм	16	22	/
Сопротивление удара Тхэрмол	△ т (°К)	220	180-200	280-350
°К 25 прочности на растяжение @	МПа	200	248	252

Для того чтобы увидеть как мы можем помочь вам с вашей индустрией полупроводника, свяжитесь мы сегодня.

Промышленное керамическое Интридуктион

Алюминиевая окись, Ал2О3 наиболее широко приложенный и рентабельный технический керамический материал. Она предлагает прочность и электрические свойства сочетания из главную механическую, сопротивление носки и коррозионную устойчивость. Максимальная работая температура °К до 1700 с относительно высокой термальной проводимостью. Также электрически изолируя материал с высокой электрической резистивностью. Хорошая коррозионная устойчивость делает ее неразрешимым в воде и немножко солубле в сильных кислоте и щелочном растворе.

Введение компании
Изготовление Мингруй керамическое и обеспечивает компоненты глинозема керамические для широкого диапазона применения как механическое оборудование, электронный & электрический, бурение нефтяных скважин, медицинский, химическая промышленность етк. согласно фактическому применению и требование к клиента, очищенности меняют от 95%-99.7% и формируя методы будут другие. Формируя методы приложенные в нашем заводе включают сухой отжимать, изостатический отжимать, прессформа впрыски, прессформа штранг-прессования. С опытными инженерами и талантливыми работниками, мы уверены для того чтобы предложить высококачественную, высокую точность, сложные компоненты для клиентов всемирно.

Керамика Мингруй имеет леты опыта конструируя и начиная технические керамические решения для большого разнообразия применений и индустрий. Высокотемпературное тугоплавкое подвергая механической обработке оборудование лазера керамических изделий. Мы предлагаем эту экспертизу ко всему из наших клиентов для обеспечения что самые лучшие дизайн и материалы выбраны для их специфических применения и потребностей. Высокотемпературное тугоплавкое подвергая механической обработке оборудование лазера керамических изделий, типично, наши изготовленные на заказ технические керамические компоненты и части мы поставляем использовано для одной из 3 главных причин:

вопросы и ответы

К: Вы торговая компания или изготовитель?

А: Мы фабрика.

К: Сколько времени ваш срок поставки?

А: Вообще 5-10 дней если товары в запасе. или 15-20 дней если товары нет в запасе, то, оно согласно количеству.

К: Вы обеспечиваете образцы? он свободен или дополнителен?

А: Да, мы смогли предложить обязанность образца бесплатно но не оплачиваем цену перевозки.

К: Что ваши условия платежа?

А: Паймент=1000УСД<>, 30% Т/Т заранее, баланс перед пересылкой.

Если вы имеете любой другой вопрос, то пльс чувствуют свободными связаться мы.

Метки товара: