Том 50×60×40км тестера ХЗ-1728 машин лабораторных испытаний отполированный материалом
Описание оборудования:
HZ-1728 Материал Полированный Тестер полируется, изнашивается или шлифуется до необходимой толщины образца.
Тестер полированной поверхности
Полезная модель относится к устройству обнаружения, в частности к детектору полированной поверхности, который может эффективно обнаруживать мелкие дефекты и загрязнения на поверхности или подповерхности пластины.
С бурным развитием технологий микроэлектроники увеличивается количество транзисторов, интегрированных на полупроводниковых пластинах.Ученые из корпорации Fairchild Semiconductor в США несколько десятилетий назад предположили, что количество транзисторов, которые можно изготовить на определенной площади пластин, будет удваиваться каждые восемнадцать месяцев.В последние два десятилетия прогресс интеграции следовал этому закону, и ученые предсказывают, что этот закон будет действовать и в ближайшие десять-двадцать лет.Поэтому площадь, занимаемая каждым транзистором на пластине, становится все меньше и меньше.Прогнозируется, что в ближайшем будущем каждый транзистор будет состоять всего из дюжины или даже меньшего количества кристаллических атомов.Эта тенденция развития выдвинула более жесткие требования к разработке и производству полупроводниковых пластин.Небольшие дефекты или загрязнения серьезно повлияют на работу устройства и даже приведут к его выходу из строя.При разработке и производстве крупномасштабных и сверхкрупногабаритных интегральных схем первым шагом является отбраковка пластин с небольшими дефектами или загрязнениями, в противном случае это серьезно повлияет на выход продукции.Поэтому обнаружение микродефектов и загрязнений на поверхности или подповерхности механохимически полированной пластины постепенно становится одной из ключевых технологий, связанных с качеством полированной пластины полупроводниковых материалов и производительностью изготовления прибора.К сожалению, в настоящее время не существует устройства, которое могло бы эффективно обнаруживать микроскопические дефекты и загрязнения на поверхности или под поверхностью пластины.
Целью этой полезной модели является создание детектора полирующей поверхности, который может точно отображать топографию поверхности и подповерхностной поверхности полируемой поверхности на подходящем носителе в виде визуального изображения, и в то же время поверхность и подповерхностные присущие, из-за обработки и дефекты окружающей среды появляются на изображении.Материалы, которые он может обнаруживать, обычно включают металлы, полупроводниковые материалы и другие твердые вещества с аналогичными свойствами.
Как было задумано выше, техническая схема настоящей полезной модели представляет собой детектор с полированной поверхностью, отличающийся тем, что он состоит из шасси, устройства управления, устройства источника света, размещенного в шасси, устройства подачи пробы, экран изображения и устройство камеры;при этом устройство транспортировки пробы состоит из устройства, соединенного со схемой управления транспортировкой пробы;устройство формирования изображения соединено со схемой управления формированием изображения;схема управления включает в себя схему управления усилением, фокусным расстоянием, апертурой и схему управления трансляционным каскадом;все входные концы вышеуказанных цепей управления соединены с выходом устройства управления в устройстве управления. Конечное соединение: выходной конец устройства камеры подключен к входному концу монитора.
Технические параметры:
| Модель |
ГЦ-1728 |
| двигатель |
1/3 л.с. |
| объем |
50×60×40см |
| масса |
55 кг |
| Источник питания |
1∮, 220 В переменного тока, 2,6 А |
