KYKY TECHNOLOGY CO., LTD.
Научные приборы Innovating Переростать в первоклассные предприятия
Add to Cart
Являясь KYKY более чем 60-летним опытом производства SEM, вся серия EM поддерживает отремонтированную и настроенную систему старой системы, такую как SEM +, такую как реконструкция электронно-лучевой литографии, модернизация LaB6, интегрированная с STM, AFM, нагревательная ступень, крио-ступень, растяжимая ступень, микро- нано-манипулятор и т. д. Система также имеет несколько интерфейсов в камере для подключения большей части детектора анализа на рынке
Стандартный EM6900 с максимальным разрешением, которое вы можете получить от SEM из вольфрамовой нити, а также имеет наиболее удобный комплект извещателей SE + BSE, по сравнению с EM6200 он имеет усовершенствованную пробную ступень, улучшенную цель и оптимизацию вакуумных путей, что удобно для клиента, который готов сделать анализ удлинения на основе вольфрамовой нити SEM.
Многоязычная операционная система, встроенная панель управления, клиент может управлять всем устройством просто с помощью мыши и клавиатуры, комплексный план послепродажного обслуживания с пожизненной технической поддержкой.
Advanteges:
◆ высокое разрешение
◆ Модернизируемый LaB 6 , огромный образец и т. Д.
◆ несколько схем модификации
◆ Полный набор автоматизированного программного обеспечения
◆ Низкая стоимость обслуживания
Характеристики:
| Вещь | EM6900 Std вольфрамовая нить SEM | |
| разрешение | 3 нм при 30 кВ (SE) 6 нм при 30 кВ (BSE) | |
| увеличение | Отрицательное увеличение: 6X ～ 300000X Увеличение экрана: 12X ～ 600000X | |
| Электронная пушка | Вольфрамовый нагревательный катодный предварительно центрированный вольфрамовый патрон | |
| Ускоряющее напряжение | 0 ~ 30 кВ | |
| Система линз | Трехуровневая электромагнитная линза (Коническая линза) | |
| Объективная диафрагма | Отверстие молибдена регулируется вне вакуумной системы | |
| Стадия образца | Этап пяти осей | |
| Путешествовать | X (Авто) | 0 ~ 80 мм |
| Спектр | Y (Авто) | 0 ~ 60 мм |
| Z (Manual) | 0 ~ 50 мм | |
| R (Руководство) | 360 ° | |
| Т (Руководство) | -5 ° ~ 90 ° | |
| Максимальный диаметр образца | 175мм | |
| детектор | Высоковакуумный вторичный электронный детектор | |
| Полупроводниковый четырехсегментный детектор обратного рассеяния | ||
| ИК ПЗС | ||
| модификация | Этап обновления; EBL; STM; AFM; Этап нагрева; Крио Стадия; Стадия растяжения; Микро-нано-манипулятор; SEM + лакировочная машина; SEM + Laser | |
| аксессуары | LaB6, рентгеновский детектор (EDS), EBSD, CL, WDS, лакировочная машина | |
| Вакуумная система | Турбо молекулярные насосы; насос вращения | |