KYKY TECHNOLOGY CO., LTD.
Научные приборы Innovating Переростать в первоклассные предприятия
Add to Cart
Насос Sputter-ion - это оборудование для создания вакуума для получения чистого и сверхвысокого вакуума.
Ионно-ионный насос является основным насосом без масла и сверхвысокого вакуума.
Ионный насос работает в закрытой системе, которая не требует непрерывной работы вспомогательного насоса.
Принцип:
Материал анода - корпус из нержавеющей стали, а материал катода - иститановая пластина. Процесс разряда Пеннинга ионизирует газ под совместным действием магнитного поля и электрического поля, тем самым реализуя истощение газа.
Триодный ионный насос улучшен для увеличения скорости накачки инертного газа; ионы инертного газа подвергаются падению в титановую сетку катода, затем нейтрализуются и отражаются от стенки насоса и анода для захоронения с титановой пленкой. Поскольку инертный газ, утопленный в стенке насоса, не будет выделяться из-за бомбардировки положительными ионами, скорость откачки инертного газа увеличивается.
Преимущества:
Эта серия насосов имеет такие преимущества, как чистота, высокий уровень вакуума, нулевой шум, нулевая вибрация и удобство в эксплуатации.
Приложения:
Основное применение - это аппараты для научных экспериментов в области ускорителей частиц высоких энергий, аппаратов с регулируемыми термоядерными реакциями, электровакуумных приборов, полупроводниковых материалов, электронного микроскопа и масс-спектрометров и другого промышленного оборудования, требующего сверхвысокого вакуума.
Характеристики:
| модель | 3L-25 | |||
| Фланец | DN35CF | |||
| Скорость откачки (л / с) | ( воздух) | 21 | ||
| Скорость откачки | (Ar) | 6 | ||
| Пусковое давление (Па) | ≤5 × 10 -4 | |||
| предельное давление (Па) | 7 × 10 -8 | |||
| (℃) температура выпечки | <200 | |||
| С магнитным | ||||
| Без магнитного | <300 | |||
| рабочее напряжение (кВ) | -5 | |||
| электродный блок | 1 | |||
| Д * Ш * В (мм) | 222 × 121 × 161 | |||
| (кг) вес | 8 | |||