KYKY TECHNOLOGY CO., LTD.
Научные приборы Innovating Переростать в первоклассные предприятия
Add to Cart
Насос Sputter-ion - это оборудование для создания вакуума для получения чистого и сверхвысокого вакуума.
Ионно-ионный насос является основным насосом без масла и сверхвысокого вакуума.
Ионный насос работает в закрытой системе, которая не требует непрерывной работы вспомогательного насоса.
Принцип:
Материал анода - корпус из нержавеющей стали, а материал катода - иститановая пластина. Процесс разряда Пеннинга ионизирует газ под совместным действием магнитного поля и электрического поля, тем самым реализуя истощение газа.
Триодный ионный насос улучшен для увеличения скорости накачки инертного газа; ионы инертного газа подвергаются падению в титановую сетку катода, затем нейтрализуются и отражаются от стенки насоса и анода для захоронения с титановой пленкой. Поскольку инертный газ, утопленный в стенке насоса, не будет выделяться из-за бомбардировки положительными ионами, скорость откачки инертного газа увеличивается.
Преимущества:
1. Степень высокого вакуума
2. Нулевая вибрация
3. Нулевой шум
4. Чистота
5. Удобно работать
Приложения:
Он может быть применен к приборам для научных экспериментов, таким как ускоритель частиц высоких энергий, аппарат для управляемых термоядерных реакций, электровакуумный прибор, полупроводниковый материал, электронный микроскоп и масс-спектрометр, а также другое промышленное оборудование, требующее сверхвысокого вакуума.
Характеристики:
| модель | 3L-50 | ||
| Фланец | DN100CF | ||
| Скорость откачки (л / с) | ( воздух) | 55 | |
| Скорость откачки | (Ar) | 12 | |
| Пусковое давление (Па) | ≤5 × 10 -4 | ||
| предельное давление (Па) | 7 × 10 -8 | ||
| (℃) температура выпечки | <200 | ||
| С магнитным | |||
| Без магнитного | <300 | ||
| рабочее напряжение (кВ) | -5 | ||
| электродный блок | 2 | ||
| Размер (мм) | 90 × 90 (4-M6) | ||
| Д * Ш * В (мм) | 290 × 120 × 299 | ||
| (кг) вес | 22 | ||