KYKY TECHNOLOGY CO., LTD.
Научные приборы Innovating Переростать в первоклассные предприятия
Add to Cart
Насос Sputter-ion - это оборудование для создания вакуума для получения чистого и сверхвысокого вакуума. Ионно-ионный насос является основным насосом без масла и сверхвысокого вакуума. Ионный насос работает в закрытой системе, которая не требует непрерывной работы вспомогательного насоса.
Принцип:
Материал анода - корпус из нержавеющей стали, а материал катода - иститановая пластина. Процесс разряда Пеннинга ионизирует газ под совместным действием магнитного поля и электрического поля, тем самым реализуя истощение газа.
Триодный ионный насос улучшен для увеличения скорости накачки инертного газа; ионы инертного газа подвергаются падению в титановую сетку катода, затем нейтрализуются и отражаются от стенки насоса и анода для захоронения с титановой пленкой. Поскольку инертный газ, утопленный в стенке насоса, не будет выделяться из-за бомбардировки положительными ионами, скорость откачки инертного газа увеличивается.
Преимущества:
Эта серия насосов имеет такие преимущества, как чистота, высокий уровень вакуума, нулевой шум, нулевая вибрация и удобство в эксплуатации.
Приложения:
1. Высокоэнергетический ускоритель частиц
2. Контролируемый термоядерный реакционный аппарат
3. Электрический вакуумный прибор
4. Полупроводниковый материал
5. Электронный микроскоп
6. Масс-спектрометр
Характеристики:
| модель | 3L-100 | |||
| Фланец | DN150CF | |||
| Скорость откачки (л / с) | ( воздух) | 110 | ||
| Скорость откачки | (Ar) | 24 | ||
| Пусковое давление (Па) | ≤5 × 10 -4 | |||
| предельное давление (Па) | 7 × 10 -8 | |||
| (℃) температура выпечки | <200 | |||
| С магнитным | ||||
| Без магнитного | <300 | |||
| рабочее напряжение (кВ) | -5 | |||
| электродный блок | 4 | |||
| Размер (мм) | 140 × 210 (4-М10) | |||
| Д * Ш * В (мм) | 350 × 250 × 307 | |||
| (кг) вес | 38 | |||