Maglev Pump, CXF-250 / 2301E, Водяное охлаждение, Бортовой Молекулярные насосы с магнитной левитацией - это насосы, чей вал поддерживается магнитной силой.
Серийные молекулярно-левитированные молекулярные насосы - это оборудование для создания вакуума, разработанное KYKY для удовлетворения требований применения в областях современного производства полупроводников, производства микросхем, промышленного покрытия и научных приборов.
технологии:
- Технология управления для магнитного подшипника: 5-осевая магнитная левитация, основанная на передовой международной теории управления, для обеспечения таких значительных преимуществ высокоскоростного вала, как стабильная левитация и надежная работа.
- Технология управления приводом двигателя: Высокоэффективный высокоскоростной двигатель постоянного тока и система сервоуправления, обеспечивающие максимальную энергию двигателя и автоматически компенсирующие скорость вращения вала, обеспечивая тем самым стабильный запуск, надежную работу и функцию автоматического регулирования динамической энергии. ,
- Углеродная композитная роторная технология: изготовлена путем смешивания высокопрочного алюминиевого сплава и легкого углеродного волокна. характеризуется значительным снижением веса и значительным улучшением прочности, благодаря чему достигаются цели с высокой скоростью вращения, высокой производительностью и высокой надежностью.
- Устойчивая к коррозии технология: Поверхности деталей в камерах обрабатываются специальным способом, так что поверхности могут противостоять коррозии, вызванной коррозионными газами в процессах производства полупроводников в течение длительного времени. Кроме того, инертные газы, такие как N2, полностью заполнены в валу насосов для защиты деталей низкого вакуума в насосах, так что обеспечивается функция стабильного выпуска агрессивных газов в течение длительных периодов времени.
- Система контроля температуры нагрева: оснащенная электрическим нагревателем и регулятором температуры, во время работы можно контролировать и контролировать тепло, переносимое защитными газами, охлаждающую воду, нагрев воздуха, переносимый защитными газами, температуру в насосах можно поддерживать на некотором уровне В долгосрочной перспективе некоторые газообразные вещества не превращаются в твердые вещества при нормальной температуре и не осаждаются в насосах, и могут быть соблюдены требования к специальному процессу, например травлению.
Приложения:
Серийные магнитно-левитированные молекулярные насосы в основном применяются в областях производства полупроводников, зажимов, промышленных покрытий и научных инструментов, особенно для извлечения агрессивных газов, присутствующих в травлении, CVD, PVD и ионной имплантации, и газов, легко коагулирующих при нормальной температуре.
Характеристики:
| Фланец (В) | DN250 CF / ISO-K, ISO-F |
| Фланец (Out) KF | DN40 |
| Скорость откачки (л / с) | N 2 : 2300 |
| Ar: 2250 |
| Он: 1900 |
| H 2 : 850 |
| Степень сжатия | N 2 : 10 8 |
| Ar: 10 8 |
| Он: 10 4 |
| H 2 : 10 3 |
| Предельное давление (Па) | CF: 1 × 10 -6 |
| ISO-K / F: 6 × 10 -6 |
| Максимум. Непрерывное форвакуумное давление (Па) | 60 |
| Максимум. Форвакуумное давление | N 2 : 250 |
| Газ по всему (м.кв.) | N 2 : 3600 |
| Ar: 1400 |
| Он: 2800 |
| H 2 : 2100 |
| Скорость вращения (об / мин) | 27000 |
| Время запуска (мин) | ≤11 |
| Тип охлаждения, Стандартный | вода |
| Расход охлаждающей воды (л / мин) | 1 |
| Температура охлаждающей воды (℃) | 20 |
| Подключение питания: напряжение (V AC) | 220 |
