Магнитно Levitated вибрация CXF-320/3000E вакуумного насоса Turbomolecular низкая

Молекулярные насосы с магнитной левитацией - это насосы, чей вал поддерживается магнитной силой.

Серийные молекулярно-левитированные молекулярные насосы - это оборудование для создания вакуума, разработанное KYKY для удовлетворения требований применения в областях современного производства полупроводников, производства микросхем, промышленного покрытия и научных приборов.

Электромагнитный подшипник также называют «активными магнитными левитированными медведями», состоящими из магнитного подшипника, датчика и системы управления. Эта конструкция имеет динамический отклик и своевременную регулировку, высокоскоростной вал и надежную работу.

Преимущества:

1. Нулевое трение во время работы и низкое энергопотребление

2. Легко получить действительно чистый высокий вакуум и сверхвысокий вакуум без смазки для насосов

3. Способен извлекать едкие газы на длительный срок

4. Высокая безопасность и длительный срок службы благодаря защите подшипников с помощью прецизионных керамических шариков.

5. функция генерации энергии при внезапном отключении питания

6. без трения

7. Без загрязнения

8. Без обслуживания

9. Низкая вибрация

10. устанавливается в любой ориентации.

технологии:

• Технология управления для магнитного подшипника: 5-осевая магнитная левитация. Эта конструкция может иметь динамический отклик и своевременную регулировку с помощью динамической технологии управления активной замкнутой магнитной подвеской, основанной на передовой международной теории управления, чтобы гарантировать такие существенные преимущества высокоскоростного вала, как стабильная левитация и надежная работа.
• Технология управления приводом двигателя: Высокопроизводительный высокоскоростной двигатель постоянного тока и система сервоуправления применяются к насосам с последовательной магнитной подвеской, чтобы иметь максимальную энергию двигателя и автоматически компенсировать скорость вращения вала, тем самым обеспечивая стабильный запуск, надежная работа и функция автоматического регулирования динамической энергии.
• Углеродные композитные роторные технологии. Турботоры серийных магнитных подвесных молекулярных насосов изготавливаются путем смешивания высокопрочного алюминиевого сплава и легкого углеродного волокна. По сравнению со всеми роторами из алюминиевого сплава турбо-роторы отличаются значительным уменьшением веса и значительным улучшением прочности, благодаря чему достигаются цели с высокой скоростью вращения, высокой производительностью и высокой надежностью.
• Устойчивая к коррозии технология: Поверхности деталей в камерах серийных магнитных суспензионных молекулярных насосов обрабатываются специальным способом, так что поверхности могут длительное время противостоять коррозии, вызванной коррозионными газами в процессах производства полупроводников. Кроме того, такие инертные газы, как N2, полностью заполнены в валу насосов для защиты деталей низкого вакуума в насосах, так что реализуется функция стабильного выпуска агрессивных газов в течение длительных периодов времени.
• Система контроля температуры нагрева: Серийные молекулярные насосы с магнитной левитацией оснащены электрическим нагревателем и регулятором температуры, так что охлаждающая вода, воздушный нагрев, электрический нагрев и тепло, переносимое защитными газами, можно контролировать и контролировать во время работы, температуру в Насосы могут поддерживаться на определенном уровне в течение длительного времени, некоторые газообразные вещества не преобразуются в твердые вещества при нормальной температуре и не осаждаются в насосах, и могут быть выполнены требования для специального процесса, такого как травление.

Характеристики:

Приложения:

Серийные магнитно-левитированные молекулярные насосы в основном применяются в областях производства полупроводников, зажимов, промышленных покрытий и научных инструментов, особенно для извлечения агрессивных газов, присутствующих в травлении, CVD, PVD и ионной имплантации, и газов, легко коагулирующих при нормальной температуре.