Насос Маглева, CXF-250/2301, ISO-K / CF, водяное охлаждение на борту Молекулярные насосы с магнитной левитацией - это насосы, вал которых поддерживается за счет магнитной силы, отвечая требованиям применения в областях современного производства полупроводников, изготовления микросхем, промышленного покрытия и научных приборов.
технологии:
- Технология управления для магнитного подшипника: 5-осевая магнитная левитация, основанная на передовой международной теории управления, для обеспечения таких значительных преимуществ высокоскоростного вала, как стабильная левитация и надежная работа.
- Технология управления приводом двигателя: Высокоэффективный высокоскоростной двигатель постоянного тока и система сервоуправления, обеспечивающие максимальную энергию двигателя и автоматически компенсирующие скорость вращения вала, обеспечивая тем самым стабильный запуск, надежную работу и функцию автоматического регулирования динамической энергии. ,
- Углеродная композитная роторная технология: изготовлена путем смешивания высокопрочного алюминиевого сплава и легкого углеродного волокна. характеризуется значительным снижением веса и значительным улучшением прочности, благодаря чему достигаются цели с высокой скоростью вращения, высокой производительностью и высокой надежностью.
- Устойчивая к коррозии технология: Поверхности деталей в камерах обрабатываются специальным способом, так что поверхности могут противостоять коррозии, вызванной коррозионными газами в процессах производства полупроводников в течение длительного времени. Кроме того, инертные газы, такие как N2, полностью заполнены в валу насосов для защиты деталей низкого вакуума в насосах, так что обеспечивается функция стабильного выпуска агрессивных газов в течение длительных периодов времени.
- Система контроля температуры нагрева: оснащенная электрическим нагревателем и регулятором температуры, во время работы можно контролировать и контролировать тепло, переносимое защитными газами, охлаждающую воду, нагрев воздуха, переносимый защитными газами, температуру в насосах можно поддерживать на некотором уровне В долгосрочной перспективе некоторые газообразные вещества не превращаются в твердые вещества при нормальной температуре и не осаждаются в насосах, и могут быть соблюдены требования к специальному процессу, например травлению.
Преимущества:
Эти насосы имеют такие преимущества, как нулевое трение во время работы и низкое энергопотребление, простота приобретения действительно чистого высокого вакуума и сверхвысокого вакуума без смазки для насосов, возможность извлечения агрессивных газов в течение длительного срока, высокая безопасность и длительный срок службы благодаря защите подшипников с точными керамическими шариками и функцией выработки энергии в случае внезапного отключения питания. Он имеет такие свойства, как отсутствие трения, загрязнения и технического обслуживания, а также низкий уровень вибрации и может быть установлен в любой ориентации.
Приложения:
Извлечение агрессивных газов, присутствующих в травлении, CVD, PVD и ионной имплантации, и газов, легко коагулирующих при нормальной температуре в областях производства полупроводников, изготовления зажимов, промышленных покрытий и научных инструментов, особенно в
Характеристики:
| модель | CXF-250/2301 |
| Скорость насоса (л / с, воздух) | 2200 |
| Степень сжатия | > 1 × 10 7 |
| Предельный вакуум (Па) | ≤2 × 10 -7 |
| Впускной фланец | DN250 ISO K (LF) |
| DN250 ISO F |
| DN250 ISO CF |
| Выходной фланец | KF 40 |
| Скорость вращения (об / мин) | 30000 |
| Время запуска (мин) | 8 |
| VIB (мм) | <0,05 |
| Поддерживающий насос (л / с) | 15 |
| Монтаж или презентация | любой |
| Метод охлаждения | вода |
| Вес (кг) (с контроллером) | 58 |
